Signal Collection with Secondary Electron Detectors in SEM

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F08%3A00315454" target="_blank" >RIV/68081731:_____/08:00315454 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Signal Collection with Secondary Electron Detectors in SEM

Original language description

The collection of secondary electrons (SE) was studied for microscopes where the magnetic field penetrates to the specimen surface and for the arrangement with the specimen region free of magnetic field. Collection efficiency of secondary electron detectors varies with their energy and angular sensitivity connected with electrostatic and magnetic field distribution in the specimen region which influences the contrast of SE images. The trajectories of SE with regard to their energy, angular distributionsare simulated and secondary electron detectors compared on the basis of calculated collection efficiency. For the verification of the simulated data the standard resolution-testing specimen with Au particles on a carbon substrate was used.

Czech name

Detekce signálu v rastrovacím elektronovém mikroskopu pomocí detektorů sekundárních elektronů

Czech description

Detekce sekundárních elektronů byla studována v mikroskopech, kde magnetické pole objektivu proniká k povrchu vzorku a v uspořádání bez magnetického pole v oblasti vzorku. Sběrová účinnost detektorů sekundárních elektronů je závislá na jejich energiové aúhlové citlivosti, která je ovlivněná rozložením magnetických a elektrostatických polí v okolí vzorku. Byly provedeny simulace a vyhodnocení trajektorií sekundárních elektronů v závislosti na jejich energii a úhlovém rozložení. Na základě vypočtené sběrové účinnosti byly porovnány detektory sekundárních elektronů v daném uspořádání. Pro potvrzení simulací posloužil vzorek s částicemi zlata na uhlíku.

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

JA - Electronics and optoelectronics

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/KJB200650602" target="_blank" >KJB200650602: Detection system for the record of the pure secondary electrons or backscattered electrons signals in ESEM</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2008

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

Proceedings of the 11th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation

ISBN

978-80-254-0905-3

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

4

Pages from-to

—

Publisher name

Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i

Place of publication

Brno

Event location

Skalský dvůr

Event date

Jul 14, 2008

Type of event by nationality

EUR - Evropská akce

UT code for WoS article

—