Influence of magnetic and electrostatic fields in the specimen vicinity on trajectories of secondary electrons in SEM

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F04%3A00109103" target="_blank" >RIV/68081731:_____/04:00109103 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Influence of magnetic and electrostatic fields in the specimen vicinity on trajectories of secondary electrons in SEM

Original language description

The Everhart-Thornley (ET) type detector is widely used in SEM for collection of secondary electrons (SE). At first glance the electrostatic field of the front grid, biased to a positive potential of several hundred volts, might be thought to attract allSE of kinetic energy below 50 eV or at least those emitted at 1-5 eV, i.e. near the SE spectrum peak. However, the detective quantum efficiency (DQE) of such detectors has been found significantly below one. Due to complicated distribution of electrostatic and magnetic fields around the specimen, which influence the SE trajectories, the DQE depends heavily on the collection efficiency (CE), i.e. the proportion of emitted species that impact on the detector. Preliminary simulations of electron trajectories indicated the CE values for the ET detector even below 0.1 for small working distances while more detailed results are reported here

Czech name

Vliv magnetického a elektrostatického pole v oblasti vzorku na trajektorie sekundárních elektronů v REM

Czech description

Detektory Everhart-Thornley-ho typu se široce používají v REM pro sběr sekundárních elektronů (SE). Na první pohled se zdá, že elektrostatické pole na přední straně síťky, která je na kladném potenciálu několika set voltů, přitáhne všechny SE s energií pod 50 eV nebo alespoň elektrony emitované s energií 1-5 eV. Avšak zjištěná detekční kvantová účinnost (DQE) mnoha detektorů byla výrazně menší než jedna. To je způsobeno složitým rozložením elektrostatických a magnetických polí v okolí vzorku, které ovlivňují trajektorie SE. DQE silně závisí na sběrové účinnosti, což je procento emitovaných částic, které dopadnou na detektor. První simulace trajektorií elektronů naznačují hodnoty sběrové účinnosti ET detektoru dokonce menší než 0.01 při malých pracovních vzdálenostech

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

JA - Electronics and optoelectronics

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/IAA1065304" target="_blank" >IAA1065304: Multichannel spectro-microscopy with slow and Auger electrons</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2004

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

Autumn School on Materials Science and Electron Microscopy 2004 - Emerging Microscopy for Advanced Materials Development: Imaging and Spectroscopy on Atomic Scale

ISBN

—

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

2

Pages from-to

"24/1"-"24/2"

Publisher name

Humboldt University of Berlin

Place of publication

Berlin

Event location

Berlin

Event date

Oct 3, 2004

Type of event by nationality

EUR - Evropská akce

UT code for WoS article

—