Collection Efficiency of the Detector of Secondary Electrons in SEM

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F04%3A00109044" target="_blank" >RIV/68081731:_____/04:00109044 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Collection Efficiency of the Detector of Secondary Electrons in SEM

Original language description

In order to collect the secondary electrons (SE), scanning electron microscopes (SEM) are equipped with the Everhart-Thornley (ET) type detector. The electrostatic field of the front grid, biased to a positive potential of several hundred volts , is to attract all SE of kinetic energy below 50 eV or at least those from the SE spectrum peak at 1(3 eV. However, the detection quantum efficiency (DQE) of such detectors has been found to be significantly lower than one, which is mainly given by their low collection efficiency. The electrostatic field of the grid cannot sufficiently penetrate toward the specimen and influence the trajectories of SE owing to grounded electrodes surrounding the specimen (specimen alone and its holder, specimen stage, pole piece of the objective lens, etc)

Czech name

Sběrová účinnost detektoru sekundárních elektronů v REM

Czech description

Za účelem sběru sekundárních elektronů (SE) jsou rastrovací elektronové mikroskopy (REM) vybaveny Everhart-Thornley-ho detektorem. Elektrostatické pole síťky na kladném potenciálu několika set voltů má přitahovat všechny SE s kinetickou energií pod 50 eVnebo alespoň ty s energií v blízkosti píku 1-3 eV ve spektru SE. Detekční kvantová účinnost (DQE) mnoha detektorů je ale výrazně menší než jedna a to je převážně dáno jejich malou sběrovou účinností. Elektrostatické pole síťky nemůže dostatečně pronikatke vzorku a ovlivňovat trajektorie SE kvůli elektrodám na zemním potenciálu v okolí vzorku (samotný vzorek, jeho držák, stolek, pólové nástavce objektivu, atd.)

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

JA - Electronics and optoelectronics

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2004

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

Proceedings of the 9th International Seminar Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation

ISBN

80-239-3246-2

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

2

Pages from-to

41-42

Publisher name

Institute of Scientific Instruments AS CR

Place of publication

Brno

Event location

Skalský Dvůr

Event date

Jul 12, 2004

Type of event by nationality

WRD - Celosvětová akce

UT code for WoS article

—