The collection efficiency of the Everhart-Thornley detector of secondary electrons in SEM

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F04%3A00109031" target="_blank" >RIV/68081731:_____/04:00109031 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

The collection efficiency of the Everhart-Thornley detector of secondary electrons in SEM

Original language description

The Everhart-Thornley (ET) type detector is widely used in SEM for the collection of secondary electrons (SE). At first glance the electrostatic field of the front grid, biased to a positive potential of several hundred volts, might be thought to attractall SE of a kinetic energy below 50 eV or at least near the SE spectrum peak at 1 - 3 eV. However, the detection quantum efficiency (DQE) of such detectors has been found to be significantly lower than one. The DQE depends heavily on the collection efficiency (CE), i.e. the proportion of emitted species that impact on the detector. Preliminary simulations of electron trajectories indicated CE values for the ET detector even below 10 % for small working distances and more detailed results are reported here

Czech name

Sběrová účinnost Everhart-Thornley-ho detektoru sekundárních elektronů v REM

Czech description

Detektory Everhart-Thornley-ho typu se široce používají v REM pro sběr sekundárních elektronů (SE). Na první pohled se zdá, že elektrostatické pole na přední straně síťky, která je na kladném potenciálu několika set voltů, přitáhne všechny SE s energií pod 50 eV nebo aspoň s energií v blízkosti píku 1-3 eV v SE spektru. Avšak zjištěná detekční kvantová účinnost (DQE) mnoha detektorů byla výrazně menší než jedna. DQE silně závisí na sběrové účinnosti, což je procento emitovaných částic, které dopadnou nadetektor. První simulace trajektorií elektronů naznačují hodnoty sběrové účinnosti ET detektoru dokonce pod 10 % při malých pracovních vzdálenostech

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

JA - Electronics and optoelectronics

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/IAA1065304" target="_blank" >IAA1065304: Multichannel spectro-microscopy with slow and Auger electrons</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2004

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

EMC 2004 - Proceedings of the 13th European Microscopy Congress

ISBN

—

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

2

Pages from-to

79-80

Publisher name

Belgian Society for Microscopy

Place of publication

Liege

Event location

Antwerp

Event date

Aug 22, 2004

Type of event by nationality

WRD - Celosvětová akce

UT code for WoS article

—