Factors affecting the Collection Efficiency of Secondary Electrons in SEM

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F05%3A00022403" target="_blank" >RIV/68081731:_____/05:00022403 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Factors affecting the Collection Efficiency of Secondary Electrons in SEM

Original language description

The Everhart-Thornley (ET) detector is the most often used type of secondary electron (SE) detector in the Scanning Electron Microscope (SEM). While the overall quality of the final image is influenced by all components of the detection channel, the collection efficiency (CE), which is defined as a ratio of collected SEs to all emitted ones, governs the image contrast and its signal to noise ratio. The detective quantum efficiency (DQE) of such detector has been found significantly below one. The main reason is in complicated distribution of electrostatic and magnetic fields in the specimen vicinity, which strongly influences the secondary electrons trajectories.

Czech name

Faktory ovlivňující sběrovou účinnost sekundárních elektronů v REM

Czech description

Everhartův-Thornleyho (ET) detektor je jedním z nejčastěji používaných typů detektorů sekundárních elektronů v rastrovacím elektronovém mikroskopu (REM). Přestože celková kvalita konečného obrazu je ovlivněna všemi bloky detekční trasy, sběrová účinnost,definovaná jako poměr detekovaných sekundárních elektronů ze všech emitovaných, mění obrazový kontrast a poměr signálu k šumu. Detekční kvantová účinnost (DQE) těchto detektorů je výrazně menší než jedna. Hlavním důvodem je složité rozložení elektrostatických a magnetických polí v oblasti vzorku, které významným způsobem ovlivňují trajektorie sekundárních elektronů.

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

JA - Electronics and optoelectronics

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/IAA1065304" target="_blank" >IAA1065304: Multichannel spectro-microscopy with slow and Auger electrons</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2005

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

Proceedings - Microscopy Conference 2005 - Dreiländertagung /6./

ISBN

1019-6447

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

1

Pages from-to

48

Publisher name

Paul Scherrer Institute

Place of publication

Villigen

Event location

Davos

Event date

Aug 28, 2005

Type of event by nationality

WRD - Celosvětová akce

UT code for WoS article

—