High-resolution laser interferometer with stabilized spatial position of laser beams

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F08%3A00316633" target="_blank" >RIV/68081731:_____/08:00316633 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

High-resolution laser interferometer with stabilized spatial position of laser beams

Original language description

In metrology applications of laser interferometers like a scale calibration of capacitive or inductive sensors, strictly linear positioning of the measuring mirror of the interferometer is necessary. It is maintained usually by a stage, which is based onprinciple of linear guide ways with ball carrier bearings. But possible imperfection of guides of the travel stage can cause deviations of the mirror plane from the right angle to the axis of traveling. Mentioned angle deviations lead to distortion of interference fringes in the output of the interferometer and by other words it causes non-linearity of the interferometer scale. We present a method, which eliminates the problem by a special configuration of the interferometer and continual monitoring ofspatial position of beams in the interferometer when the mirror is positioned. It works with condition that the mirror can be slightly tilted by piezoelectric actuators in servo-loop mode with respect to detected spatial position.

Czech name

Přesný laserový interferometr s prostorovou stabilizací polohy laserových svazků

Czech description

V metrologických aplikacích, ve kterých se provádí kalibrace kapacitních či indukčnostních snímačů, je nutné zaručit přísně rovnoběžné polohování měřicího zrcadla interferometru. Toto se zajišťuje zejména polohovacím stolkem jehož posuv využívá přesnýchlineárních vedení na bázi kuličkových převodů. Přesto případné osové odchylky těchto vedení mohou způsobit nepatrný náklon roviny zrcadla od kolmice k ose vedení. Tato, i velmi nepatrná úhlová odchylka však může způsobit zkreslení průběhu interferenčníhoproužku na výstupu interferometru, což v konečném důsledku způsobí nelinearitu stupnice interferometru. Představujeme metodu, která eliminuje uvedený problém zvláštním uspořádáním laserového interferometru a kontinuálním sledováním prostorové pozice laserových svazků, které dopadají na měřicí zrcadlo interferometru. V případě, že detektory indikují odchylku od stanoveného místa dopadu, pomocí piezoelektrických měničů je měřicí zrcadlo naklopeno do správné polohy.

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

BH - Optics, masers and lasers

OECD FORD branch

—

Project

Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2008

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

ICPM 2008 - International Conference on Precision Measurement

ISBN

978-3-938843-38-3

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

2

Pages from-to

—

Publisher name

Technische Universität llmenau

Place of publication

llmenau

Event location

Ilmenau

Event date

Sep 8, 2008

Type of event by nationality

WRD - Celosvětová akce

UT code for WoS article

—