E-Beam Writer at 15kV with Shaped Electron Beam of Minimum Size 25nm BS600/TZ-0
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F09%3A00336579" target="_blank" >RIV/68081731:_____/09:00336579 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Elektronový litograf s urychlovacím napětím 15kV a tvarovaným svazkem do 25nm - BS600/TZ-0
Original language description
Elektronový litograf BS600/TZ-0 je elektronově-optické zařízení vyvinuté a optimalizované pro výrobu reliéfních mikrostrukltur se submikronovým rozlišením. Elektronový litograf pracuje s konstantním urychlovacím napětím 15 kV, pravoúhlým tvarovatelným svazkem, jehož velikost lze nastavit nezávisle v obou směrech od 25 nm do 3150 nm s krokem 25 nm, s vychylovacím polem 3,2 mm x 3,2 mm s krokem 50 nm. Vzájemná orientace souřadnic tvarování a vychylování je 30 stupňů.
Czech name
Elektronový litograf s urychlovacím napětím 15kV a tvarovaným svazkem do 25nm - BS600/TZ-0
Czech description
Elektronový litograf BS600/TZ-0 je elektronově-optické zařízení vyvinuté a optimalizované pro výrobu reliéfních mikrostrukltur se submikronovým rozlišením. Elektronový litograf pracuje s konstantním urychlovacím napětím 15 kV, pravoúhlým tvarovatelným svazkem, jehož velikost lze nastavit nezávisle v obou směrech od 25 nm do 3150 nm s krokem 25 nm, s vychylovacím polem 3,2 mm x 3,2 mm s krokem 50 nm. Vzájemná orientace souřadnic tvarování a vychylování je 30 stupňů.
Classification
Type
G<sub>funk</sub> - Functional sample
CEP classification
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2009
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Internal product ID
6241
Numerical identification
—
Technical parameters
Velikost svazku: 25-3150 nm. Otočení souřadnic tvarování: -30 stupňů. Proudová hustota ve svazku (min ? střed - max): 0,8 ? 1,6 ? 4,8 A/cm2.
Economical parameters
Zmenšení velikosti svazku umožňuje dosáhnout vyššího rozlišení, což umožnilo realizovat struktury dříve nerealizovatelné.
Application category by cost
—
Owner IČO
68081731
Owner name
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Web page
—