SMV-2014-28: Development of test specimens for SEM

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F14%3A00439067" target="_blank" >RIV/68081731:_____/14:00439067 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

čeština

Original language name

SMV-2014-28: Vývoj testovacích preparátů pro REM

Original language description

Náplní práce byl výzkum/vývoj a realizace přesných reliéfních struktur pomocí mikrolitografických technik v křemíku pro testování zobrazování rastrovacích elektronových mikroskopů (REM). Výzkum zahrnuje analýzu grafických vstupu z ohledu jeho použití pro testování metriky skenovacích elektronových mikroskopů, výzkum vhodných technik a postupů pro přípravu reliéfních prvku v křemíku ve vysoké přesnosti a opakovatelnosti.

Czech name

SMV-2014-28: Vývoj testovacích preparátů pro REM

Czech description

Náplní práce byl výzkum/vývoj a realizace přesných reliéfních struktur pomocí mikrolitografických technik v křemíku pro testování zobrazování rastrovacích elektronových mikroskopů (REM). Výzkum zahrnuje analýzu grafických vstupu z ohledu jeho použití pro testování metriky skenovacích elektronových mikroskopů, výzkum vhodných technik a postupů pro přípravu reliéfních prvku v křemíku ve vysoké přesnosti a opakovatelnosti.

Type

V_souhrn - Summary research report

CEP classification

BH - Optics, masers and lasers

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

N - Vyzkumna aktivita podporovana z neverejnych zdroju

Publication year

2014

Confidentiality

C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Number of pages

6

Place of publication

Brno

Publisher/client name

Tescan Brno s.r.o

Version

—