Gas supplies for CVD device for the preparation of graphene based substrates
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F19%3A00507953" target="_blank" >RIV/68081731:_____/19:00507953 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Přívod plynů do CVD zařízení pro přípravu grafenových podložek
Original language description
Funkční vzorek byl navržen v rámci řešení projektu Podložky na bázi grafenu modifikované elektronovým svazkem pro LV STEM (TAČR GAMA TG03010046) a otestován na CVD grafenu vyráběném pro tento projekt. Přesné a bezpečné dávkování plynů do CVD pece je u přípravy grafenu velmi důležitý parametr. Je nutné zajistit velmi přesné dávkování výbušných a hořlavých plynů. Díky našemu řešení pro dávkování těchto nebezpečných plynů, připevněné k našemu prototypovému CVD reaktoru, jsme schopni dávkovat tyto plyny přímo do CVD reaktoru nejen bezpečně ale i s velkou přesností průtoku. Díky tomu jsme schopni velmi efektivně upravovat vstupní parametry experimenty během grafenového růstu. Navíc je díky našemu návrhu velmi jednoduché a bezpečné používané plyny vyměnit za jiné.
Czech name
Přívod plynů do CVD zařízení pro přípravu grafenových podložek
Czech description
Funkční vzorek byl navržen v rámci řešení projektu Podložky na bázi grafenu modifikované elektronovým svazkem pro LV STEM (TAČR GAMA TG03010046) a otestován na CVD grafenu vyráběném pro tento projekt. Přesné a bezpečné dávkování plynů do CVD pece je u přípravy grafenu velmi důležitý parametr. Je nutné zajistit velmi přesné dávkování výbušných a hořlavých plynů. Díky našemu řešení pro dávkování těchto nebezpečných plynů, připevněné k našemu prototypovému CVD reaktoru, jsme schopni dávkovat tyto plyny přímo do CVD reaktoru nejen bezpečně ale i s velkou přesností průtoku. Díky tomu jsme schopni velmi efektivně upravovat vstupní parametry experimenty během grafenového růstu. Navíc je díky našemu návrhu velmi jednoduché a bezpečné používané plyny vyměnit za jiné.
Classification
Type
G<sub>funk</sub> - Functional sample
CEP classification
—
OECD FORD branch
20506 - Coating and films
Result continuities
Project
<a href="/en/project/TG03010046" target="_blank" >TG03010046: Commercialization of the research results of the Institute of Scientific Instruments of the CAS, v. v. i.</a><br>
Continuities
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Others
Publication year
2019
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Internal product ID
APL-2019-04
Numerical identification
APL-2019-04
Technical parameters
Funkční vzorek se skládá z nerezové trubice, příruby s vývodem, 3 ventilů, 2 průtokoměrů, 2 elektromagnetických zámků, 2 plynových filtrů, tenké ocelové trubičky, kabelů na propojení s PC, 2 plynových bomb a CVD pece.
Economical parameters
Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Lukáš Průcha, prucha@isibrno.cz
Application category by cost
—
Owner IČO
68081731
Owner name
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Licence fee requirement
—
Web page
—