Thermal desorption spectroscopy in CVD device for the control of preparation of graphene based substrates.
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F19%3A00509049" target="_blank" >RIV/68081731:_____/19:00509049 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Termodesorpční spektroskopie v CVD zařízení pro kontrolu přípravy grafenových podložek.
Original language description
Funkční vzorek byl navržen v rámci řešení projektu Podložky na bázi grafenu modifikované elektronovým svazkem pro LV STEM (TAČR GAMA TG03010046) a otestován na CVD grafenu vyráběném pro tento projekt. Sledování desorpce plynů z povrchu vzorků při zahřívání je důležitá informace o čistotě povrchu pokud chceme vyrobit kvalitní grafenovou strukturu. Díky instalaci hmotnostního spektrometru do systému CVD pece je možné pozorovat nejen desorpci plynů z povrchu vzorku, ale je navíc možné pozorovat rozpadový proces metanu za vysokých teplot při výrobě CVD grafenu. Tyto informace jsou zásadní pro výrobu kvalitních grafenových podložek. Testování zařízení proběhlo na vzorcích grafenu, ale i na vzorcích čistého křemíku. Funkční vzorek lze použít na zjišťování povrchových nečistot (primárně uhlovodíků) odpařovaných z povrchu vzorku se zvyšující se teplotou a ke sledování rozpadu připouštěných plynů do CVD pece.
Czech name
Termodesorpční spektroskopie v CVD zařízení pro kontrolu přípravy grafenových podložek.
Czech description
Funkční vzorek byl navržen v rámci řešení projektu Podložky na bázi grafenu modifikované elektronovým svazkem pro LV STEM (TAČR GAMA TG03010046) a otestován na CVD grafenu vyráběném pro tento projekt. Sledování desorpce plynů z povrchu vzorků při zahřívání je důležitá informace o čistotě povrchu pokud chceme vyrobit kvalitní grafenovou strukturu. Díky instalaci hmotnostního spektrometru do systému CVD pece je možné pozorovat nejen desorpci plynů z povrchu vzorku, ale je navíc možné pozorovat rozpadový proces metanu za vysokých teplot při výrobě CVD grafenu. Tyto informace jsou zásadní pro výrobu kvalitních grafenových podložek. Testování zařízení proběhlo na vzorcích grafenu, ale i na vzorcích čistého křemíku. Funkční vzorek lze použít na zjišťování povrchových nečistot (primárně uhlovodíků) odpařovaných z povrchu vzorku se zvyšující se teplotou a ke sledování rozpadu připouštěných plynů do CVD pece.
Classification
Type
G<sub>funk</sub> - Functional sample
CEP classification
—
OECD FORD branch
20501 - Materials engineering
Result continuities
Project
<a href="/en/project/TG03010046" target="_blank" >TG03010046: Commercialization of the research results of the Institute of Scientific Instruments of the CAS, v. v. i.</a><br>
Continuities
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Others
Publication year
2019
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Internal product ID
APL-2019-11
Numerical identification
APL-2019-11
Technical parameters
Funkční vzorek se skládá z hmotnostního spektrometru, CVD pece, 2 průtokoměrů, digitálního manometru, CF kříže, stojanu na ocelové křížení, UHV uzávěrů a turbomolekularní vývěvy.
Economical parameters
Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu slouží k výzkumným účelům. Nedochází k přímému prodeji vzorku. Finanční vyčíslení případné prodejní ceny vychází z nákladů na vývoj, materiál, výrobu a přiměřený zisk. Kontakt: Ing. Lukáš Průcha, prucha@isibrno.cz
Application category by cost
—
Owner IČO
68081731
Owner name
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Licence fee requirement
—
Web page
—