Miniaturized secondary electron analyser
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F19%3A00517195" target="_blank" >RIV/68081731:_____/19:00517195 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Miniaturizovaný analyzátor sekundárních elektronů
Original language description
Spektrometr sekundárních elektronů podle technického řešení je uzpůsoben pro použití v libovolném rastrovacím elektronovém mikroskopu. Inovativnost spočívá v miniaturizovaném řešení, kdy spektrometr je umístěn na manipulátoru vzorku. Jeho malá výška umožňuje, aby celý analytický systém byl umístěn v prostoru pod objektivovou čočkou rastrovacího elektronového mikroskopu, obvykle vyhrazeném pro vyšší vzorky.
Czech name
Miniaturizovaný analyzátor sekundárních elektronů
Czech description
Spektrometr sekundárních elektronů podle technického řešení je uzpůsoben pro použití v libovolném rastrovacím elektronovém mikroskopu. Inovativnost spočívá v miniaturizovaném řešení, kdy spektrometr je umístěn na manipulátoru vzorku. Jeho malá výška umožňuje, aby celý analytický systém byl umístěn v prostoru pod objektivovou čočkou rastrovacího elektronového mikroskopu, obvykle vyhrazeném pro vyšší vzorky.
Classification
Type
G<sub>funk</sub> - Functional sample
CEP classification
—
OECD FORD branch
20506 - Coating and films
Result continuities
Project
<a href="/en/project/TG03010046" target="_blank" >TG03010046: Commercialization of the research results of the Institute of Scientific Instruments of the CAS, v. v. i.</a><br>
Continuities
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Others
Publication year
2019
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Internal product ID
APL-2019-19
Numerical identification
APL-2019-19
Technical parameters
Funkční vzorek byl vyroben s cílem ověřit vlastnosti návrhu a konstrukce miniaturizovaného spektrometru sekundárních elektronů umístitelného dovnitř komory rastrovacího elektronového mikroskopu přímo na manipulátor vzorku. Spektrometr obsahuje ve směru průletu elektronů tyto prvky: vzorek, elektrodu vymezující úhlový rozsah diagnostikovaných elektronů, dvojici elektrod toroidního tvaru, napěťový a detekční systém. Energie primárního svazku: 2 keV, energie zkoumaných elektronů 0–50 eV, výška 28 mm, průměr 35 mm
Economical parameters
Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Filip Mika Ph.D., mika@isibrno.cz
Application category by cost
—
Owner IČO
68081731
Owner name
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
P - Využití výsledku jiným subjektem je v některých případech možné bez nabytí licence
Licence fee requirement
Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek
Web page
—