Prototype of a differential pumping system for a mass spectrometer

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F26%3A00648862" target="_blank" >RIV/68081731:_____/26:00648862 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

čeština

Original language name

Prototyp systému diferenciálního čerpání hmotnostního spektrometru

Original language description

Originalita systému spočívá v jeho kompaktních rozměrech a konstrukci, umožňuje snížit tlak plynů na hodnoty požadované hmotnostním spektrometrem. Zaručena je jeho kompatibilita s elektronovým mikroskopem. Systém je však současně univerzální pro použití s hmotnostními spektrometry a elektronovými mikroskopy od různých výrobců, použitelný i pro mnoho dalších zařízení vyžadujících pro svou činnost snížení tlaku plynu. Splňuje požadavky na vakuovou těsnost s mikroskopem i analyzátorem, na zajištění ohřevu jeho vnitřních částí z důvodu minimalizace kondenzace analyzovaného plynu při jeho detekci v procesu pyrolýzy, na integraci ionizačního detektoru signálních elektronů, na vyměnitelnost vnitřní části s tlak omezujícími clonkami pro použití v klasickém SEM nebo v ESEM, na možnost připojení plynového chromatografu.

Czech name

Prototyp systému diferenciálního čerpání hmotnostního spektrometru

Czech description

Originalita systému spočívá v jeho kompaktních rozměrech a konstrukci, umožňuje snížit tlak plynů na hodnoty požadované hmotnostním spektrometrem. Zaručena je jeho kompatibilita s elektronovým mikroskopem. Systém je však současně univerzální pro použití s hmotnostními spektrometry a elektronovými mikroskopy od různých výrobců, použitelný i pro mnoho dalších zařízení vyžadujících pro svou činnost snížení tlaku plynu. Splňuje požadavky na vakuovou těsnost s mikroskopem i analyzátorem, na zajištění ohřevu jeho vnitřních částí z důvodu minimalizace kondenzace analyzovaného plynu při jeho detekci v procesu pyrolýzy, na integraci ionizačního detektoru signálních elektronů, na vyměnitelnost vnitřní části s tlak omezujícími clonkami pro použití v klasickém SEM nebo v ESEM, na možnost připojení plynového chromatografu.

Type

G_prot - Prototype

CEP classification

—

OECD FORD branch

20201 - Electrical and electronic engineering

Project

—

Continuities

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Publication year

2026

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Internal product ID

APL-2025-03

Numerical identification

—

Technical parameters

Prototyp systému diferenciálního čerpání hmotnostního spektrometru byl ověřen pro zavedení do výroby. Při měření hledačem netěsností s pracovním plynem He těsnost lepší než 10-7 Pa. Schopnost snížit tlak z 1000 Pa na vstupu na maximálně 0,001 Pa na výstupu systému. Kompatibilita s přírubami speciálně navrženými pro elektronové mikroskopy různých výrobců. Vstupní část hmotnostního spektrometru vybavena ventilem pro vakuové oddělení komory vzorku mikroskopu a hmotnostního spektrometru. Vnitřní část vyměnitelná s možností výměny tlak omezující clony s průměrem otvorů v clonách od 50 μm do 800 μm. Odolnost vůči korozi a použitým kalibračním plynům (např. H, He, FC-5311). Teplotní odolnost po odstranění pryžových těsnění až do 300 °C včetně možnosti externího vypékání. Nízká hmotnost a kompaktní rozměry pro instalaci na komoru vzorku mikroskopu. Systém bude vybaven přívodem pro kalibrační plyny.

Economical parameters

Prototyp realizovaný při řešení projektu CZ.01.01.01/01/22_002/0000618 s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení dle podmínek Smlouvy o spolupráci na řešení projektu OP TAK – Aplikace „reg. č. CZ.01.01.01/01/22_002/0000618“. Ekonomický přínos bude realizován příjemcem projektu, firmou NUM solution s.r.o., IČ: 04199766, DIČ: CZ04199766 se sídlem U Pergamenky 1145/12, 170 00 Praha 7 – Holešovice. Kontakt: doc. Ing. et Ing. Vilém Neděla, Ph.D., DSc.

Application category by cost

—

Owner IČO

68081731

Owner name

Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. - NUM solution s.r.o.

Owner country

CZ - CZECH REPUBLIC

Usage type

A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licence fee requirement

A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

Web page

—