Nanocrystalline diamond films preparation by hybrid pulsed laser deposition

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F04%3A00102484" target="_blank" >RIV/68378271:_____/04:00102484 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Nanocrystalline diamond films preparation by hybrid pulsed laser deposition

Original language description

We used pulsed laser deposition (PLD) and hybrid PLD (HPLD) techniques for NCD thin films preparation. KrF excimer laser beam (Lumonics, .lambda.=248 nm , 20 ns, 500 mJ) was focused on graphite target with energy density of 4-7 J.cm- 2. Films were deposited on sapphire and Si(100) substrates in hydrogen and argon/hydrogen ambient

Czech name

Nanokrystalické diamantové vrstvy deponované hybridní pulsní laserovou depozicí

Czech description

Metody pulsní laserové depozice (PLD) a hybridní PLD (HPLD) byli použity pro přípravu NCD tenkých vrstev. Excimerový KrF laser byl fokusován na grafitový terč a vrstvy připraveny na safírové a Si(100) podložky ve vodíkové a agrón/vodíkové atmosférách

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

BM - Solid-state physics and magnetism

OECD FORD branch

—

Project

Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2004

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

Proceedings of Workshop 2004

ISBN

—

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

2

Pages from-to

176-177

Publisher name

ČVUT Praha

Place of publication

Praha

Event location

Praha

Event date

Mar 22, 2004

Type of event by nationality

CST - Celostátní akce

UT code for WoS article

—