Plasma study during pulsed laser deposition of nanocrystalline diamond/amorphous carbon composite thin films and their structural characterization

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F04%3A00313329" target="_blank" >RIV/68378271:_____/04:00313329 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Plasma study during pulsed laser deposition of nanocrystalline diamond/amorphous carbon composite thin films and their structural characterization
Original language description
Nanocrystalline diamond/amorphous carbon composite thin films were prepared by hybrid technique combining pulsed laser deposition with a capacitively coupled radiofrequency discharge. Optical emission spectroscopy was performed for plasma monitoring during the deposition process.
Czech name
Studium plazmatu během pulsní laserové depozice kompozitních vrstev nanokrystalického diamantu/amorfního uhlíku a jejich strukturní vlastnosti
Czech description
Kompozitní vrstvy nanokrystalického diamantu/amorfního uhlíku byly připravovány pomocí hybridní pulsní laserové depozice s kombinací radiofrekvenčního výboje. Depoziční proces byl monitorován pomocí optické emisní spektroskopie.

Project
Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year
2004
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Similar results(10)