Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F05%3A00025580" target="_blank" >RIV/68378271:_____/05:00025580 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects

Original language description

Comparing the values of etch rates calculated for nanosecond pulses with those measured for shorter pulses, we can study the influence of pulse duration on XUV ablation efficiency. The results of the experiments also show that the ablation rate increaseswhile the wavelength decreases from the XUV spectral region toward X-rays, mainly due to increase of attenuation lengths at short wavelengths

Czech name

Krátkovlnná ablace molekulárních pevných látek: vlivy vlnové délky a trvání impulzu

Czech description

Když porovnáme vypočtené účinnosti ablace nanosekundovými impulzy s těmi změřenými s femtosekundové impulzy můžeme posoudit vliv délky impulzu na účinnost krátkovlnné ablace. Naše experimentální výsledky dále ukazují, že s poklesem vlnavé délky od XUV dortg spektrálního oboru ablační účinnost roste s rostoucí atenuační délkou

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BH - Optics, masers and lasers

OECD FORD branch

—

Project

Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2005

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Journal of Microlithography Microfabrication and Microsystems

ISSN

1537-1646

e-ISSN

—

Volume of the periodical

4

Issue of the periodical within the volume

3

Country of publishing house

US - UNITED STATES

Number of pages

11

Pages from-to

"033007/1"-"033007/11"

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—