Characterization of grain growth, nature and role of grain boundaries in microcrystalline silicon ? review of typical features

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F06%3A00040652" target="_blank" >RIV/68378271:_____/06:00040652 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Characterization of grain growth, nature and role of grain boundaries in microcrystalline silicon ? review of typical features
Original language description
A boundary between amorphous and microcrystalline growth of silicon thin films was explored for the study of grain growth by changing parameters of plasma enhanced deposition (substrate temperature, silane dilution or deposition duration and thus the film thickness)
Czech name
Charakterizace růstu zrn, povahy a role hranic zrn v mikrokrystalickém křemíku ? přehled typických vlastností
Czech description
Hranice mezi růstem amorfní a mikrokrystalické struktury tenkých křemíkových vrstev byla prokoumávána za účelem studia růstu zrn při změně parametrů plazmatické depozice (teploty substrátu, ředění silanu nebo doby depozice a tím i tlousťky vrstvy)

Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
BM - Solid-state physics and magnetism
OECD FORD branch
—

Project
Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year
2006
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Similar results(10)