Formation of continuous nanocrystalline diamond layer on glass and silicon at low temperatures

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F08%3A00319790" target="_blank" >RIV/68378271:_____/08:00319790 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Formation of continuous nanocrystalline diamond layer on glass and silicon at low temperatures

Original language description

Nanocrystalline diamond thin films are grown on silicon and glass substrates by microwave plasma (MP)CVD from a gas mixture of methane and hydrogen at low substrate temperatures. The initial stages of diamond growth, i.e., i) the growth of individual nanometer-sized crystals and clusters, and ii) coalescence into a continuous layer, are investigated by diverse analytic techniques. AFM measurements reveal nearly unchanging surface roughness up to 40 min. XPS measurements detect changing of the surface composition from the very beginning of the growth process. The rapid carbon increase is assigned to the enlarging of the grown crystals and clusters. SEM images indicate a possible lateral growth type. The found dependences indicate that a two-dimensionalgrowth mode takes place at low substrate temperatures. Grown nanocrystalline diamond films are optically transparent in a wide spectral range, and exhibit a high refractive index of 2.34.

Czech name

Nízkoteplotní růst souvislých diamantových vrstev na skle a na křemíku

Czech description

Tenké vrstvy nankrystalického diamantu byli deponováni za nízkych teplot v mikrovlnnem plazmatu ve směsi metánu a vodíku. Počáteční fáze růstu, t.j. i) růst nanorozměrných krystalku a klastru a ii) koalescence těchto struktur v souvislou vrstvu, jsou studováni AFM, SEM a XPS technikami. AFM měření vykazujou témeř konstantní povrchovou drsnost po dobu 40 minut. Na druhé straně, XPS sepktra vykazují změnu složení povrchu od prvních minut procesu růstu. Zvyšováni zastoupebí uhlíku na povrchu je přirazeno růstu diamantových nanokrystalků. SEM obrázky indikují možní růst v laterárnim směre. Narostlé vrstvy byli opticky průhledné v širokém spektrálnym rozsahu, a jejich index lomu byl 2.34.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BM - Solid-state physics and magnetism

OECD FORD branch

—

Project

Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2008

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Chemical Vapor Deposition

ISSN

0948-1907

e-ISSN

—

Volume of the periodical

14

Issue of the periodical within the volume

7-8

Country of publishing house

DE - GERMANY

Number of pages

6

Pages from-to

—

UT code for WoS article

000259302700005

EID of the result in the Scopus database

—