Study of processes in a pulsed magnetron Ar/O2 plasma by mass spectrometry
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F08%3A00324133" target="_blank" >RIV/68378271:_____/08:00324133 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
Study of processes in a pulsed magnetron Ar/O2 plasma by mass spectrometry
Original language description
We studied plasma processes during sputtering of aluminum target in a reactive oxygen/argon atmosphere in two radial positions. The partial pressure of oxygen was systematically changed keeping the total pressure constant (0.5 Pa). A whole target-poisoning cycle was analyzed with a special attention to unstable transition from dielectric to metallic mode. Our attention was focused to appearance of positive O+, O2+, Al +and AlO+ ions. In the radial direction in front of race-track we observed energetic negative ions of O-, O2- and weak ALO- while in the central position the negative ions disappeared. The transition from dielectric to metallic mode is followed by atomic oxygen ions decrease, while the molecular oxygen ions completely disappear from the spectra in the transition mode. The observed plasma behavior was assigned to a mechanism of the film formation.
Czech name
Studium procesů v pulsním magnetronovém Ar/O2 plazmatu pomocí hmotnostní spektrometrie
Czech description
Studium procesů v plazmatu během magnetronového odprašování hliníkového terče v reaktivní kyslík/argonové atmosféře ve dvou různých radiálních polohách. Byl analyzován celý cyklus "otravy" terče, kdy pozornost byla věnována nestabilní oblasti přechodu zdielektrického do kovového módu. Byl sledován výskyt a chování O+, O2+, Al+ a AlO+ iontů. Mimo radiální osu byly detekovány záporné ionty O-, O2- a slabě ALO-.
Classification
Type
D - Article in proceedings
CEP classification
BM - Solid-state physics and magnetism
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/KAN400100653" target="_blank" >KAN400100653: Self-organized magnetic nanostructures</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2008
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Article name in the collection
35th EPS Conference on Plasma Physics ? Contributed papers
ISBN
2-914771-52-5
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
4
Pages from-to
—
Publisher name
European Physical Society
Place of publication
Paris
Event location
Hersonissos
Event date
Jun 9, 2008
Type of event by nationality
WRD - Celosvětová akce
UT code for WoS article
—