Langmuir probe diagnostics of a plasma jet system

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F09%3A00325016" target="_blank" >RIV/68378271:_____/09:00325016 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Langmuir probe diagnostics of a plasma jet system

Original language description

Selected recent results on the application of Langmuir probes to diagnose plasma jet systems are presented. To demonstrate the versatility of the Langmuir probe method we give examples of measurements of the spatial distribution of the plasma parametersas well as their temporal dependence in cases when the plasma jet system operates in a pulsed regime. A part of this paper is devoted to introducing the Langmuir probe technique, especially with regard to its application under conditions when collisionsbetween the charged and neutral particles in the probe sheath cannot be neglected and when the electron energy distribution function in plasma cannot be approximated by a Maxwellian one. In the experimental part we present Langmuir probe measurement of low-pressure and atmospheric-pressure plasma jet systems that are currently used for experiments with deposition of materials with special properties.

Czech name

Diagnostika plazmového tryskového systému pomocí Langmuirovské sondy

Czech description

Jsou prezentovány vybrané výsledky aplikací Langmuirovské sondy pro diagnostiku plazmatických tryskových systémů. Mnohostrannost použití metody je demonstrována na příkladech jak měření prostorového rozdělení parametrů plazmatu, tak jejich časového vývoje v případech, kdy je plazmatický tryskový systém provozován v pulzním režimu. Část publikace je věnována popisu metody Langmuirovské sondy, především s ohledem na její aplikaci v podmínkách, kdy nelze zanedbat srážky nabitých částic s neutrálními v oblasti prostorového náboje a kdy nelze aproximovat elektronovou rozdělovací funkci pomocí maxwellovské. V experimentální části jsou prezentovány měření parametrů plazmatu v plazmatických tryskových systémech pracujících za nízkého i za atmosférického tlaku,které jsou v současnosti používáný pro experimetny s depozicí materiálů speciálních vlastností.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BH - Optics, masers and lasers

OECD FORD branch

—

Project

Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2009

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Plasma Sources Science & Technology

ISSN

0963-0252

e-ISSN

—

Volume of the periodical

18

Issue of the periodical within the volume

1

Country of publishing house

GB - UNITED KINGDOM

Number of pages

11

Pages from-to

—

UT code for WoS article

000262897600011

EID of the result in the Scopus database

—