Device for deposition rate increase in HiPIMS using pulse packages

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F20%3A00537050" target="_blank" >RIV/68378271:_____/20:00537050 - isvavai.cz</a>
Alternative codes found
RIV/00216224:14310/20:00114917
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
Zařízení pro zvýšení depoziční rychlosti HiPIMSu použitím balíčků pulzů
Original language description
V rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli zařízení pro zvýšení depoziční rychlosti HiPIMSu použitím balíčků pulzů. Změřené parametry plazmatu prokázali, že zařízení je schopné zdvojnásobit depoziční rychlosti při zachování ionizačního stupně rozprášených částic.
Czech name
Zařízení pro zvýšení depoziční rychlosti HiPIMSu použitím balíčků pulzů
Czech description
V rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli zařízení pro zvýšení depoziční rychlosti HiPIMSu použitím balíčků pulzů. Změřené parametry plazmatu prokázali, že zařízení je schopné zdvojnásobit depoziční rychlosti při zachování ionizačního stupně rozprášených částic.

Project
<a href="/en/project/TN01000038" target="_blank" >TN01000038: National centre of competence for Materials, Advanced Technologies, Coatings and their Applications</a><br>
Continuities
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Publication year
2020
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Internal product ID
FVNCK1/FZU/2020
Numerical identification
FVNCK1/FZU/2020
Technical parameters
Délka pulzu: 30 μs, vzdálenost mezi pulzy v balíčku: 20 μs, střída: 5 %, počet pulzů:4, pracovní tlak v reaktoru: 1 Pa
Economical parameters
Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum
Application category by cost
—
Owner IČO
68378271
Owner name
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. - Masarykova univerzita
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Web page
—

Similar results(10)