Glass substrate sample with phase modifications structure formed by wavelength 515 nm

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F22%3A00573816" target="_blank" >RIV/68378271:_____/22:00573816 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

čeština

Original language name

Vzorek skleněného substrátu se strukturou fázových změn vytvořenou pomocí vlnové délky 515 nm

Original language description

Matice kráterů o průměru 4 mikrony a hloubce 350 nm s odsazením 0,7 mm horizontálně a 1,5 mm vertikálně, nacházející se na obou stranách skleněného substrátu typu Schott D263 o rozměrech 50x50 mm2 a tloušťce 0,1 mm.

Czech name

Vzorek skleněného substrátu se strukturou fázových změn vytvořenou pomocí vlnové délky 515 nm

Czech description

Matice kráterů o průměru 4 mikrony a hloubce 350 nm s odsazením 0,7 mm horizontálně a 1,5 mm vertikálně, nacházející se na obou stranách skleněného substrátu typu Schott D263 o rozměrech 50x50 mm2 a tloušťce 0,1 mm.

Type

G_funk - Functional sample

CEP classification

—

OECD FORD branch

20501 - Materials engineering

Project

<a href="/en/project/TM01000021" target="_blank" >TM01000021: Development of non linear absorption driven optic system and proces for high throughput TGV formation</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2022

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Internal product ID

TM01000021-V5

Numerical identification

TM01000021-V5

Technical parameters

Na substrátu D263 o tloušťce 0,1 mm jsou pomocí několika paralelních Besselovských svazků vytvořeny krátery na přední i zadní straně, mezi kterými se nachází masa fázově změněného materiálu s mikrokanálky vytvořenými díky nelineárním jevům vznikajícím při průchodu ultrakrátkých laserových pulzů s vysokou fluencí. Procesní rychlost je > 10 000 kráterů za vteřinu, fluence ve svazku > 8 Jcm-2 na vlnové délce 515 nm, poziční odchylka kráterů < 10% průměru.

Economical parameters

Výsledek slouží ověření funkčnosti technologie mnohosvazkového zpracování dielektrických materiálů Besselovským svazkem a bude využit pro další rozvoj této technologie. Díky provedené modifikaci je možné krátery vyleptat a vytvořit tzv. TGVs (thru-glass-vias), díky čemuž lze takový substrát použít jako hostovací materiál pro vysokofrekvenční mikroelektroniku. Protože Fyzikální ústav nemá jako svoji hlavní činnost výrobu v oblasti mikroelektroniky, bude hledat vhodného průmyslového partnera pro další rozvoj této technologie.

Application category by cost

—

Owner IČO

68378271

Owner name

Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.

Owner country

CZ - CZECH REPUBLIC

Usage type

P - Využití výsledku jiným subjektem je v některých případech možné bez nabytí licence

Licence fee requirement

Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek

Web page

—