A method of creating a pulsed magnetron discharge together with arc evaporation
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F23%3A00580734" target="_blank" >RIV/68378271:_____/23:00580734 - isvavai.cz</a>
Result on the web
<a href="https://isdv.upv.gov.cz/doc/FullFiles/Patents/FullDocuments/309/309606.pdf" target="_blank" >https://isdv.upv.gov.cz/doc/FullFiles/Patents/FullDocuments/309/309606.pdf</a>
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Způsob vytváření pulzního magnetronového výboje společně s obloukovým odpařováním
Original language description
Předkládaný vynález se týká způsobu a zařízení pro vytváření pulzního magnetronového výboje společně s obloukovým odpařováním ve vakuové komoře a zařízení pro povlakování využívající výše uvedeného pulzního magnetronového výboje s obloukovým odpařováním. Způsob obsahuje kroky vytvoření pulzně buzeného magnetronového výboje první pulzní napěťovou jednotkou a zapálení katodového vakuového oblouku druhou pulzní jednotkou vytvářející inicializační pulz, přičemž první a druhá pulzní jednotka jsou paralelně spojené, a způsob dále spočívá v tom, že zapálení katodového vakuového oblouku probíhá během pulzního magnetronového výboje první pulzní napěťové jednotce, a že se slučují napěťové pulzy generované pomocí pulzních napěťových jednotek a v modulu přenášející pulzní výboj na magnetronovou katodu.
Czech name
Způsob vytváření pulzního magnetronového výboje společně s obloukovým odpařováním
Czech description
Předkládaný vynález se týká způsobu a zařízení pro vytváření pulzního magnetronového výboje společně s obloukovým odpařováním ve vakuové komoře a zařízení pro povlakování využívající výše uvedeného pulzního magnetronového výboje s obloukovým odpařováním. Způsob obsahuje kroky vytvoření pulzně buzeného magnetronového výboje první pulzní napěťovou jednotkou a zapálení katodového vakuového oblouku druhou pulzní jednotkou vytvářející inicializační pulz, přičemž první a druhá pulzní jednotka jsou paralelně spojené, a způsob dále spočívá v tom, že zapálení katodového vakuového oblouku probíhá během pulzního magnetronového výboje první pulzní napěťové jednotce, a že se slučují napěťové pulzy generované pomocí pulzních napěťových jednotek a v modulu přenášející pulzní výboj na magnetronovou katodu.
Classification
Type
P - Patent
CEP classification
—
OECD FORD branch
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Result continuities
Project
<a href="/en/project/FV30177" target="_blank" >FV30177: Research and development of novel pulsed plasma technologies for deposition of advanced thin-film materials</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2023
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Patent/design ID
309606
Publisher
CZ001 -
Publisher name
Industrial Property Office
Place of publication
Prague
Publication country
CZ - CZECH REPUBLIC
Date of acceptance
Mar 29, 2023
Owner name
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.,HVM Plasma spol. s r.o.
Method of use
A - Výsledek využívá pouze poskytovatel
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence