A method of covering the surface of an optical element made of an ionic crystal with a continuous protective layer, the continuous layer and its application
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F24%3A00598187" target="_blank" >RIV/68378271:_____/24:00598187 - isvavai.cz</a>
Result on the web
<a href="https://isdv.upv.gov.cz/doc/FullFiles/Patents/FullDocuments/310/310137.pdf" target="_blank" >https://isdv.upv.gov.cz/doc/FullFiles/Patents/FullDocuments/310/310137.pdf</a>
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Způsob pokrytí povrchu optického elementu vyrobeného z iontového krystalu souvislou ochrannou vrstvou, souvislá vrstva a její použití
Original language description
Předkládaný vynález se týká způsobu pokrytí optického elementu z iontového krystalu ochrannou vrstvou amorfního kompozitu na bázi amorfního křemíku a uhlíku s obsahem kyslíku, fluoru a vodíku. Tato ochranná vrstva má s výhodou tloušťku do 200 nm a slouží jako ochrana proti vzdušné vlhkosti, zejména v infračervené optické spektroskopii. Způsob využívá plazmový reaktor s kapacitně vázanou plazmou, přičemž proces probíhá ve vakuové komoře s elektrodami. Optický element se upevní na uzemněnou elektrodu, plazmový reaktor se zahřívá na provozní teplotu do 100 °C, odčerpávají se zbytkové plyny na tlak nižší než 1 mPa a vhánějí se procesní plyny. Poté se nastaví průtoky plynů, připojí se vysokofrekvenční napětí a zapálí se doutnavý výboj, hustota vysokofrekvenčního příkonu se nastaví do 20 W/dm2. Poté se na optický element nanáší souvislá ochranná vrstva. Podstata způsobu spočívá v dodržování správných teplotních podmínek, koncentrace procesních plynů a frekvence napětí.
Czech name
Způsob pokrytí povrchu optického elementu vyrobeného z iontového krystalu souvislou ochrannou vrstvou, souvislá vrstva a její použití
Czech description
Předkládaný vynález se týká způsobu pokrytí optického elementu z iontového krystalu ochrannou vrstvou amorfního kompozitu na bázi amorfního křemíku a uhlíku s obsahem kyslíku, fluoru a vodíku. Tato ochranná vrstva má s výhodou tloušťku do 200 nm a slouží jako ochrana proti vzdušné vlhkosti, zejména v infračervené optické spektroskopii. Způsob využívá plazmový reaktor s kapacitně vázanou plazmou, přičemž proces probíhá ve vakuové komoře s elektrodami. Optický element se upevní na uzemněnou elektrodu, plazmový reaktor se zahřívá na provozní teplotu do 100 °C, odčerpávají se zbytkové plyny na tlak nižší než 1 mPa a vhánějí se procesní plyny. Poté se nastaví průtoky plynů, připojí se vysokofrekvenční napětí a zapálí se doutnavý výboj, hustota vysokofrekvenčního příkonu se nastaví do 20 W/dm2. Poté se na optický element nanáší souvislá ochranná vrstva. Podstata způsobu spočívá v dodržování správných teplotních podmínek, koncentrace procesních plynů a frekvence napětí.
Classification
Type
P - Patent
CEP classification
—
OECD FORD branch
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
Result continuities
Project
<a href="/en/project/TP01010035" target="_blank" >TP01010035: PHysics, Applied Research for Novel TECHnologies</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Others
Publication year
2024
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Patent/design ID
310137
Publisher
CZ001 -
Publisher name
Industrial Property Office
Place of publication
Prague
Publication country
CZ - CZECH REPUBLIC
Date of acceptance
Aug 8, 2024
Owner name
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Method of use
A - Výsledek využívá pouze poskytovatel
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence