Design of Piezoresistive Strain Sensor based on SOI technology
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F08%3A03147702" target="_blank" >RIV/68407700:21230/08:03147702 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
Design of Piezoresistive Strain Sensor based on SOI technology
Original language description
Electronics for instrumentation and control systems are required to operate at ever increasing temperatures. Device operation at temperatures greater than 200 °C is required for a variety of present and next-generation control applications including e.g.turbine engine control and other industrial applications. SOI technology is suitable technology for fabrication of hi-temperature devices as well as devices for RF applications. The following paper introduces the CoventorWare design environment for SOIbased piezoresistive sensor design. It uses a hybrid approach that is a unique combination of diaphragm FEM analysis using Analyzer and piezoresistive sensor modelling using Architect's circuit simulation environment.
Czech name
Návrh piezorezistivních senzorů deformace v SOI technologii
Czech description
Elektronika pro řídící a přístrojové systémy pracuje ya stále vyšších teplot. Pracovní teploty v růrných aplikacích (řízení a snímání veličin v turbínách generátoru) mnohdy překračují hranici 200°C. Technologie SOI je vhodná pro realizaci takových systému a senzorů stejně jako pro RF aplikace apod. Článek představuje unikátní přístup k návrhu piezorezistivního senzoru. Postup kombinujeFEM analyzu a obvodovou simulaci.
Classification
Type
D - Article in proceedings
CEP classification
JB - Sensors, detecting elements, measurement and regulation
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/GA102%2F06%2F1624" target="_blank" >GA102/06/1624: Micro and nano sensor structures and systems with embedded intelligence (MINASES)</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2008
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Article name in the collection
MIPRO 2008 - Proceedings Vol. 1 MEET & GVS
ISBN
978-953-233-036-6
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
4
Pages from-to
—
Publisher name
Croatian Society SMFE
Place of publication
Zagreb
Event location
Opatija
Event date
May 26, 2008
Type of event by nationality
WRD - Celosvětová akce
UT code for WoS article
—