Crystalline surfaces, self assembled structures, and nano-origami as length standards in (nano)metrology
Veřejná podpora
Poskytovatel
Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
Program
Šestý rámcový program Evropského společenství pro výzkum, technický rozvoj a demonstrační činnosti
Veřejná soutěž
FP6-2005-Energy-4
Hlavní účastníci
Český metrologický institut
Druh soutěže
RP - Spolufinancování programu EK
Číslo smlouvy
MSMT-45248/2013-7
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
Crystalline surfaces, self assembled structures, and nano-origami as length standards in (nano)metrology
Anotace anglicky
This JRP aims to develop new types of standards in the nanometre and sub-nanometre range to trace back instruments to the SI unit of length with a small uncertainty of u(h) = 10 pm (for step height prototypes) and to reveal characteristics of the instruments (flatness). New techniques will be developed by using the nature of crystalline materials as well as by using a promising lithographic technique based on block co-polymers. Another aim for the JRP is the use of the nano-origami technique as a production technique to fabricate structures of nanoscale size. Whereas the first aim will go beyond the current limit of available standards i.e. below 6 nm for step height and below 100 nm for pitch standards, the latter aim and techniques will be useful tocreate geometrically well-defined nano-objects that are necessary for the future validation of such instruments (e.g. AFM for the dimensional measurements of 3D-nano-objects).
Vědní obory
Kategorie VaV
ZV - Základní výzkum
CEP - hlavní obor
BG - Jaderná, atomová a molekulová fyzika, urychlovače
CEP - vedlejší obor
—
CEP - další vedlejší obor
—
OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)
10304 - Nuclear physics
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Hodnocení výsledků řešení ministerstvo neprovádí, neboť podmínkou podpory je, že uchazeč byl vybrán mezinárodním poskytovatelem v souladu s pravidly příslušného programu. Projekt je hodnocen až po jeho schválení mezinárodním poskytovatelem.
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 10. 2013
Ukončení řešení
30. 9. 2016
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
24. 2. 2016
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP17-MSM-7A-U/01:1
Datum dodání záznamu
20. 6. 2017
Finance
Celkové uznané náklady
3 172 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
1 816 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
1 356 tis. Kč