Integration of processes and moDules for the 2 nm node meeting Power Performance Area and Cost requirements

Název projektu anglicky
Integration of processes and moDules for the 2 nm node meeting Power Performance Area and Cost requirements
Anotace anglicky
The overall objective of ID2PPAC is to demonstrate for the 2 nm node that the Performance Power Area and Cost (PPAC) requirements for this generation of leading edge logic technology can be achieved, by developing, consolidating and integrating selected technology solutions for "Lithography Equipment", "Metrology Equipment", "Mask Equipment" and "Process Development & Modules Integration" (i.e. Patterning, CMOS Devices, BEOL interconnect, DTCO/STCO). Crytur's tasks: 1) Wrap-up report on manufacturing process of single-crystal scintillator screens for EUV applications; 2) Ultrafast scintillators with size and quality needed for AMIL's SEM application including detector and mechanics (report); 3) Final report on development of ultrafast scintillator for SEM applications.

Kategorie VaV
AP - Aplikovaný výzkum
OECD FORD - hlavní obor
20501 - Materials engineering
OECD FORD - vedlejší obor
—
OECD FORD - další vedlejší obor
—
CEP - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)
JG - Hutnictví, kovové materiály<br>JP - Průmyslové procesy a zpracování

Hodnocení poskytovatelem
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
V rámci projektu byly vyhotoveny a otestovány dva funkční vzorky: "Scintillation screen with coating for out-of-band characterization of EUV source" a "Ultrafast scintillators with size and quality needed for AMIL's SEM application", které byly následně předány dalším průmyslovým partnerům.

Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP25-MSM-8A-U
Datum dodání záznamu
27. 6. 2025

Podobné projekty(10)