*Výzkum a vývoj pokročilé křemíkové desky pro sub-mikronové technologie.
Veřejná podpora
Poskytovatel
Ministerstvo průmyslu a obchodu
Program
IMPULS
Veřejná soutěž
IMPULS 2 (SMPO200500009)
Hlavní účastníci
—
Druh soutěže
VS - Veřejná soutěž
Číslo smlouvy
FI-IM2/131
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
*Research and development of advanced silicon wafer for sub-micron technologies.
Anotace anglicky
*The development of advanced silicon wafer technology for production of high-tech integrated circuits with sub-micron detail. In order to reach these goals, we are going to install a new hot zone with diameter 450 mm for Czochralski pulling of silicon single crystals which will reduce the gap between technology level of Czech silicon single crystal manufacturer and world leading producers.
Vědní obory
Kategorie VaV
VV - Experimentální vývoj
CEP - hlavní obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
CEP - vedlejší obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
CEP - další vedlejší obor
—
OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>20201 - Electrical and electronic engineering
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Vyvinuta technologie výroby pokročilé křemíkové desky (ASiW) průměru 150 mm pro sub-mikronové aplikace. Zhotoveny prototypy ASiW a vzorky desek průměru 200 mm. S pomocí CAD nástrojů (simulace) vyvinut proces růstu krystalů v 18" topné zóně.
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 3. 2005
Ukončení řešení
31. 12. 2007
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
23. 5. 2007
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Systémové označení dodávky dat
CEP08-MPO-FI-U/02:2
Datum dodání záznamu
1. 4. 2009
Finance
Celkové uznané náklady
11 668 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
3 345 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
8 323 tis. Kč