Výzkum, vývoj a zavedení výroby inovovaných provedení tepelného a chemického uzlu v pecích pro atmosférické a LPCVD procesy HI-TECH polovodičových výrob fotovoltaických panelů.
Veřejná podpora
Poskytovatel
Ministerstvo průmyslu a obchodu
Program
IMPULS
Veřejná soutěž
IMPULS 4 (SMPO200700003)
Hlavní účastníci
—
Druh soutěže
VS - Veřejná soutěž
Číslo smlouvy
FI-IM4/165
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
Research, development and production of inovated temperature and chemical parts of furnaces for diffusion and LPCVD processes in Semiconductor industry.
Anotace anglicky
Research and developement diffusion furances equipements for the LPCVD processes in semiconductor industry with improved operation control in temperature and gas flow functions.
Vědní obory
Kategorie VaV
VV - Experimentální vývoj
CEP - hlavní obor
JP - Průmyslové procesy a zpracování
CEP - vedlejší obor
JQ - Strojní zařízení a nástroje
CEP - další vedlejší obor
—
OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)
20302 - Applied mechanics<br>20501 - Materials engineering<br>20705 - Remote sensing<br>20706 - Marine engineering, sea vessels<br>20707 - Ocean engineering
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Bylo dosaženo velmi významného posunu v oblasti technologických možností stávajících vysokoteplotních reaktorů. Skutečnost, že výsledky řešení projektu byly téměř okamžitě aplikovány do výrobní praxe, potvrzuje vysokou úspěšnost projektu.
Termíny řešení
Zahájení řešení
26. 4. 2007
Ukončení řešení
31. 3. 2010
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
6. 5. 2010
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP11-MPO-FI-U/01:1
Datum dodání záznamu
22. 6. 2011
Finance
Celkové uznané náklady
9 712 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
2 733 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
6 979 tis. Kč