Elektronová litografie pro přípravu nanostruktur

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Standardní projekty

Veřejná soutěž

Standardní projekty 8 (SGA02005GA-ST)

Hlavní účastníci

—

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

—

Název projektu anglicky

Electron-beam lithography for preparation of nanostructures

Anotace anglicky

Actual electron-beam lithographic system BS 600 works with the limit resolution of 0.1 microns. Recently,we have received a couple of requirements for production of structures with better resolution.The aim of this project is to study a preparation of structures with the resolution below 100 nanometers. Thesolution has to address both the system part of the lithograph and the technological tissues concerning such a high resolution. As a result, nanostructures with extremely high resolution will be

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

CEP - vedlejší obor

JB - Senzory, čidla, měření a regulace

CEP - další vedlejší obor

—

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

20201 - Electrical and electronic engineering

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

V rámci řešení projektu bylo dosaženo zlepšení parametrů vlastního litografu i celé litografické technologie. Nosné body zahrnují zejména:Zmenšení minimálního rozměru svazku 2x (z původních 100 nm na 50 nm); praktické realizaci předcházela důsledná teore

Zahájení řešení

1. 1. 2005

Ukončení řešení

1. 1. 2006

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP07-GA0-GA-U/03:2

Datum dodání záznamu

16. 10. 2007

Celkové uznané náklady

1 700 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

1 631 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

138 tis. Kč