Krystalizace amorfních a nanokrystalických tenkých vrstev
Cíle projektu
Vlastnosti tenkých vrstev podstatně závisí na jejich reálné struktuře případně krystalinitě. Vlastnosti tenkých vrstev podstatně závisí na jejich reálné struktuře případně krystalinitě. Krystalizace amorfním a nanokrystalických vrstev bude sledována prodva případy - vrstvy TiO2, které v poslední době nalezají aplikace v různých odvětvích průmyslu, zejména díky fotokatalytické aktivitě a samočístícím vlastnostem a pro tvrdé amorfní až nanokrystalické vrstvy zejména v systému Zr-Si-N. V prvním případě jecílem snížit teplotu krystalizace, ve druhém naopak zvýšit. Vrstvy TiO2 budou navíc dopovány vhodnými prvky za účelem posunu zakázaného pásu do viditelné oblasti. Reálná struktura vrstev a její vývoj s teplotou budou studovány pomocí komplexní charakterizace rtg difrakcí a reflexí, tzn. fázové složení, mikrodeformace, zbytková napětí, tloušťka vrstev, drsnost povrchu, analýza velikostí a tvaru krystalitů a jejich přednostní orientace. A to jak pro žíhané vrstvy, tak i in-situ měřeními.
Klíčová slova
nanocrystalline thin filmscrystallizationtitanium oxidesX-ray diffraction
Veřejná podpora
Poskytovatel
Grantová agentura České republiky
Program
Standardní projekty
Veřejná soutěž
Standardní projekty 9 (SGA02006GA-ST)
Hlavní účastníci
—
Druh soutěže
VS - Veřejná soutěž
Číslo smlouvy
106/06/0327
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
Crystallization of amorphous and nanocrystalline thin films
Anotace anglicky
Properties of thin films depend significantly on their real structure and/or crystallinity. Crystallization of amorphous filmswill be studied for two cases - TiO2 films that have recently found numerous applications in different fields of industry, mainly because of their photocatalytic activity and self-cleaning properties, and hard amorphous and nanocrystalline protective coatings of the system Zr-Si-N in particular. The aim is to reduce crystallization temperature of amorphous deposited films inthe former case, and increase it in the latter case. TiO2 films will also be dopped with suitable elements to shift the band gap into the region of visible light. Real structure and its evolution with temperature will be studied by complex X-ray diffraction and reflectivity characterization, i.e. phase analysis, microstrain, residual stress, film thickness and surface roughness, analysis of the size, shape and preferred orientation of crystallites. As-deposited and post-annealed films will be
Vědní obory
Kategorie VaV
ZV - Základní výzkum
CEP - hlavní obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
CEP - vedlejší obor
—
CEP - další vedlejší obor
—
OECD FORD - odpovídající obory
(dle převodníku)10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Hlavní pozornost byla soustředěna na krystalizaci vrstev TiO2 s cílem získat nanokrystalické vrstvy vykazující po UV ozáření hydrofilicitu a antibakteriální vlastnosti. Pomocí různého žíhání amorfních vrstev a in-situ rtg difrakčních meření byla stanoven
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 1. 2006
Ukončení řešení
31. 12. 2008
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
25. 4. 2008
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP09-GA0-GA-U/02:2
Datum dodání záznamu
22. 10. 2009
Finance
Celkové uznané náklady
2 884 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
2 884 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
0 tis. Kč
Základní informace
Uznané náklady
2 884 tis. Kč
Statní podpora
2 884 tis. Kč
100%
Poskytovatel
Grantová agentura České republiky
CEP
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
Doba řešení
01. 01. 2006 - 31. 12. 2008