Nanostrukturování povrchů extrémním ultrafialovým a rentgenovým laserovým zářením

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Standardní projekty

Veřejná soutěž

Standardní projekty 18 (SGA0201400001)

Hlavní účastníci

Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Ústav fyziky plazmatu AV ČR, v. v. i.

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

14-29772S

Název projektu anglicky

Surface nanostructuring by extreme ultraviolet and X-ray laser radiation

Anotace anglicky

The new sources of intense coherent short-wavelength radiation, i.e., plasma and e-beam based XUV/X-ray lasers, represent promising tools for the direct nano-patterning of solids, as they enable the ablation (desorption) printing of features with dimensions comparable to the wavelength. A key advantage of the XUV/X-ray lasers for fabrication of tailored nanostructures is the unique combination of exceptionally short wavelength, very good coherence, and high peak power. Certain thresholds for materials processing require XUV/X-ray sources to deliver enough fluence and thus sufficiently high power to the irradiated surface area. Although high-order harmonics and non-coherent sources developed for EUV lithography can also pattern material surfaces with nanometer precision, they cannot directly produce three-dimensional nanostructures using a few shots in a single processing step. In this project, a systematic investigation of spontaneously grown (LIPSS) and externally created (mask projection) nano-patterns on XUV/X-ray laser-irradiated surfaces is proposed.

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

BH - Optika, masery a lasery

CEP - vedlejší obor

—

CEP - další vedlejší obor

—

OECD FORD - odpovídající obory
(dle převodníku)

10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Cíle projektu zaměřeného na výzkum zdrojů extrémně UV a rentgenového laserového záření a na vytváření nanostrukturovaných povrchů pomocí těchto zdrojů byly splněny v souladu s návrhem. Výsledky byly publikovány v 7 impaktovaných publikacích a 5 příspěvcích ve sbornících. Byly získány nové znalosti o interakci XUV záření s hmotou a o procesech souvisejících se vznikem periodických nanostruktur.

Zahájení řešení

1. 1. 2014

Ukončení řešení

7. 12. 2017

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

12. 4. 2016

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP18-GA0-GA-U/02:1

Datum dodání záznamu

4. 5. 2018

Celkové uznané náklady

7 515 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

7 515 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč