Nanostrukturování povrchů extrémním ultrafialovým a rentgenovým laserovým zářením

Poskytovatel
Grantová agentura České republiky
Program
Standardní projekty
Veřejná soutěž
Standardní projekty 18 (SGA0201400001)
Hlavní účastníci
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.<br>Ústav fyziky plazmatu AV ČR, v. v. i.
Druh soutěže
VS - Veřejná soutěž
Číslo smlouvy
14-29772S

Název projektu anglicky
Surface nanostructuring by extreme ultraviolet and X-ray laser radiation
Anotace anglicky
The new sources of intense coherent short-wavelength radiation, i.e., plasma and e-beam based XUV/X-ray lasers, represent promising tools for the direct nano-patterning of solids, as they enable the ablation (desorption) printing of features with dimensions comparable to the wavelength. A key advantage of the XUV/X-ray lasers for fabrication of tailored nanostructures is the unique combination of exceptionally short wavelength, very good coherence, and high peak power. Certain thresholds for materials processing require XUV/X-ray sources to deliver enough fluence and thus sufficiently high power to the irradiated surface area. Although high-order harmonics and non-coherent sources developed for EUV lithography can also pattern material surfaces with nanometer precision, they cannot directly produce three-dimensional nanostructures using a few shots in a single processing step. In this project, a systematic investigation of spontaneously grown (LIPSS) and externally created (mask projection) nano-patterns on XUV/X-ray laser-irradiated surfaces is proposed.

Kategorie VaV
ZV - Základní výzkum
CEP - hlavní obor
BH - Optika, masery a lasery
CEP - vedlejší obor
—
CEP - další vedlejší obor
—
OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)

Hodnocení poskytovatelem
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Cíle projektu zaměřeného na výzkum zdrojů extrémně UV a rentgenového laserového záření a na vytváření nanostrukturovaných povrchů pomocí těchto zdrojů byly splněny v souladu s návrhem. Výsledky byly publikovány v 7 impaktovaných publikacích a 5 příspěvcích ve sbornících. Byly získány nové znalosti o interakci XUV záření s hmotou a o procesech souvisejících se vznikem periodických nanostruktur.

Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP18-GA0-GA-U/02:1
Datum dodání záznamu
4. 5. 2018

Podobné projekty(10)