Nanostrukturní povlaky syntetizované užitím vysoce reaktivního pulzního plazmatu
Cíle projektu
Cílem projektu je příprava tenkovrstvých materiálů s unikátními fyzikálními a funkčními vlastnostmi. Budou syntetizovány užitím nových vysokovýkonových pulzních magnetronových naprašovacích technik s pulzním řízením toku reaktivních plynů bez nutnosti vysokého záporného předpětí substrátů, vysokých teplot substrátů a ohřevu po depozici. Výhody nových magnetronových technik se silně ionizovaným a vysoce reaktivním pulzním plazmatem budou využity při reaktivní depozici oxynitridových povlaků (např. AlON, WON a MoON) s laditelným složením a vlastnostmi a termochromických vrstev na bázi VO2 za nízkých teplot. Pulzní magnetronové techniky budou využity také při přípravě nových materiálů na bázi HfBSiCN s extrémně vysokou teplotní stabilitou ve vzduchu. Budou objasněny korelace mezi procesními parametry a prvkovým složením, strukturou a vlastnostmi vytvořených materiálů.
Klíčová slova
Nanostructured coatingsReactive magnetron sputteringHighly ionized plasmasTunable oxynitridesThermochromic VO2High-temperature HfBSiCNStructureMechanical propertiesOptical propertiesElectrical propertiesThermal stabilityMultifunctionality
Veřejná podpora
Poskytovatel
Grantová agentura České republiky
Program
Standardní projekty
Veřejná soutěž
Standardní projekty 21 (SGA0201700001)
Hlavní účastníci
Západočeská univerzita v Plzni / Fakulta aplikovaných věd
Druh soutěže
VS - Veřejná soutěž
Číslo smlouvy
17-08944S
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
Nanostructured coatings synthesized using highly reactive pulsed plasmas
Anotace anglicky
The aim of the project is to prepare thin-film materials with unique physical and functional properties. They will be synthesized using new high-power impulse magnetron sputtering techniques with a pulsed reactive gas flow control and without the need for high substrate bias voltages, high substrate temperatures and post-deposition annealing. Benefits of the new magnetron sputtering techniques with highly ionized and highly reactive pulsed plasmas will be utilized in a reactive deposition of oxynitride coatings (such as AlON, WON and MoON) with tunable composition and properties, and thermochromic VO2-based films at low substrate temperatures. The pulsed magnetron sputtering techniques will be also used for preparation of new HfBSiCN-based materials with extremely high thermal stability in air. The correlations between process parameters and the elemental composition, structure and properties of the formed materials will be explained.
Vědní obory
Kategorie VaV
ZV - Základní výzkum
CEP - hlavní obor
JI - Kompositní materiály
CEP - vedlejší obor
—
CEP - další vedlejší obor
—
OECD FORD - odpovídající obory
(dle převodníku)20505 - Composites (including laminates, reinforced plastics, cermets, combined natural and synthetic fibre fabrics; filled composites)
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Získané výsledky přispívají k prohloubení znalostí v oblasti nových pokročilých nanostrukturovaných multifunkčních povlaků a v oblasti reaktivního vysokovýkonného impulsního magnetronového naprašování oxidových filmů. Výsledky byly publikovány (9 příspěvků) a zaslány (2 příspěvky) do prestižních mezinárodních časopisů. Byly prezentovány na mezinárodních konferencích (včetně 9 pozvaných přednášek).
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 1. 2017
Ukončení řešení
31. 12. 2019
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
10. 4. 2019
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP20-GA0-GA-U/02:1
Datum dodání záznamu
23. 7. 2020
Finance
Celkové uznané náklady
6 288 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
4 743 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
1 545 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
0 tis. Kč
Uznané náklady
6 288 tis. Kč
Statní podpora
4 743 tis. Kč
0%
Poskytovatel
Grantová agentura České republiky
CEP
JI - Kompositní materiály
Doba řešení
01. 01. 2017 - 31. 12. 2019