Optické a mechanické vlastnosti tenkých vrstev DLC:Si připravených PECVD metodou

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Standardní projekty

Veřejná soutěž

Standardní projekty 1 (SGA02002GA-ST)

Hlavní účastníci

Masarykova univerzita / Přírodovědecká fakulta

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

—

Název projektu anglicky

Optical and mechanical properties of DLC : Si thin films prepared by the PECVD method

Anotace anglicky

The aim of this project is to perform the systematic study of the optical and mechanical properties of diamond like carbon (DLC) thin films containing silicon (DLC:Si). Within this study a new optical method based on combining spectroscopic ellipsometry

Kategorie VaV

—

CEP - hlavní obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

CEP - vedlejší obor

—

CEP - další vedlejší obor

—

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)

Hodnocení poskytovatelem

V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Diamantu podobné vrstvy, jejichž studium bylo předmětem hodnoceného projektu, mají bezesporu velký potenciální význam pro praxi. V rámci projektu byly vyvinuty metody proměření vlastností těchto vrstev a dva nové fyzikální modely. Vlastnosti vrstev byly

Zahájení řešení

1. 1. 2001

Ukončení řešení

1. 1. 2003

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP/2004/GA0/GA04GA/U/N/A:11

Datum dodání záznamu

30. 5. 2008

Celkové uznané náklady

3 594 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

2 730 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

864 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč