Studium plazmatu vznikajícího při hybridní modifikaci pulzní laserové depozice

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Standardní projekty

Veřejná soutěž

Standardní projekty 9 (SGA02006GA-ST)

Hlavní účastníci

—

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

202/06/0216

Název projektu anglicky

Study of plasma formed in hybrid arrangement of pulsed laser deposition

Anotace anglicky

The hybrid laser deposition method (H-PLD) of thin layers is a new deposition technology combined the pulsed laser deposition with applied discharges or sources of plasma (DC, RF, hollow cathode discharges, combination with magnetrone, etc.). The H-PLD method is already well-understood and provides thin layers with the required quality. However, the basic physical and chemical processes constituting the described process have not been fully elucidated. The goal is to employ spectroscopic methods to obtain basic information on the presence of reactive molecules in the H-PLD plasma and on the dynamics of propagating of the plasma plume at medium pressures (units to hundreds of Pa) and to further improve the method on the basis of the information obtained. The main target is a more detailed understanding of chemical and physical phenomena in the H-PLD process, monitoring of the formation of chemical intermediates and an attempt at detection and spectroscopic identification of species that have

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

CEP - vedlejší obor

—

CEP - další vedlejší obor

—

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)

Hodnocení poskytovatelem

V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Hlavním účelem projektu bylo podrobné pochopení fyzikálně-chemických dějů v H-PLD procesu (Hybridní pulzní laserová depozice), sledování meziproduktů děje a s tím související spektroskopická identifikace dosud experimentálně nepozorovaných spécií. Součas

Zahájení řešení

1. 1. 2006

Ukončení řešení

31. 12. 2008

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

25. 4. 2008

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP09-GA0-GA-U/02:2

Datum dodání záznamu

22. 10. 2009

Celkové uznané náklady

1 945 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

1 945 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč