Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Standardní projekty

Veřejná soutěž

Standardní projekty 10 (SGA02007GA-ST)

Hlavní účastníci

—

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

202/07/1669

Název projektu anglicky

Deposition of thermomehanically stable nanostructured diamond-like thin films in dual frequency capacitive discharges

Anotace anglicky

The aim of the present project is to develop a new deposition system based on application of dual-frequency capacitive plasma (DFCCP) for preparation of themally stable nanostructured diamod-like carbon (NDLC) films. With combination of high frequency excitation (ensuring plasma stability and its high density) and low frequency excitation(controlling the ion energy) we will achieve controlled growth of NDLC films. The objective of the study is to find the optimum combination of the high and low frequency (continuous or pulsed) excitation enabling to cover uneven and stepped substrate surfaces and significant lowering of the internal stress in films. Complex diagnostics and computer simulation of the DFCCP are planned in order to understand the processes of the film growth. The NDLC films will be exstensively studied from the point of view of their structure (RBS, ERDA, TOF ERDA, HRTEM, SEM etc.) as well as properties (micro- and nanoindentation, elipsometry, spectrophotometry, etc.). Moreover, the thermal stability of NDLC films will be studied using thermal desorption spectroscopy.

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

CEP - vedlejší obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

CEP - další vedlejší obor

BJ - Termodynamika

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20303 - Thermodynamics

Hodnocení poskytovatelem

V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Řešení projektu proběhlo výtečně, jak z hlediska odborného tak i z hlediska čerpání finančních prostředků.

Zahájení řešení

1. 1. 2007

Ukončení řešení

31. 12. 2011

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

16. 4. 2011

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP12-GA0-GA-U/02:2

Datum dodání záznamu

2. 5. 2016

Celkové uznané náklady

6 579 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

6 579 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč