Nukleace a růst kyslíkových precipitátů v křemíku

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Standardní projekty

Veřejná soutěž

Standardní projekty 12 (SGA02009GA-ST)

Hlavní účastníci

—

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

202/09/1013

Název projektu anglicky

Nucleation and growth of oxygen precipitates in silicon

Anotace anglicky

The project is devoted to a complex study of nucleation and growth of oxygen precipitates in Czochralski-grown silicon crystals. A broad range of experimental methods will be applied: x-ray scattering, infrared absorption spectroscopy, wet etching, optical microscopy and transmission electron microscopy; their results will be compared in detail. These methods will allow us to characterize both globally and locally the distribution of precipitates (size, density of clusters) and of the associated defects(crystal lattice deformation) in samples subjected to controlled annealing processes. The experimental results will be compared with theoretical modeling based on theories of nucleation and growth, going beyond the classical theory of nucleation. The numerical analysis will further allow us to determine the associated material constants needed for appropriate numerical modeling of the precipitate growth. The prediction and understanding of precipitation processes kinetics will lead to development of recipes for annealing treatments with controlled sample parameters.

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

CEP - vedlejší obor

—

CEP - další vedlejší obor

—

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Řešení projektu proběhlo podle plánu jak z hlediska odborného tak i z hlediska čerpání finančních prostředků.

Zahájení řešení

1. 1. 2009

Ukončení řešení

31. 12. 2011

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

16. 4. 2011

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP12-GA0-GA-U/02:2

Datum dodání záznamu

2. 5. 2016

Celkové uznané náklady

3 048 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

3 048 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč