Studium kinetiky plazmachemických reakcí a procesů depozice tenkých vrstev na pevných substrátech plazmachemickou cestou

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Standardní projekty

Veřejná soutěž

—

Hlavní účastníci

Masarykova univerzita

Druh soutěže

—

Číslo smlouvy

—

Název projektu anglicky

Investigation of plasmochemical reactions processes during a plasmochemical deposition of thin film on solid state

Anotace anglicky

Deposition of shard and ultra hard films in decay plasma discharges and in plasma of the unipolar high frequency discharges. The investigate conditions under which arise hexagonal, cubic and amorphous BN. To measure temperature field of the discharges and properties of the films too. Measurement of rate constants for different types of elementary and plasmochemical reactions and recombinations coefficients for hydrogen, nitrogen, oxygen as a function of temsperature usisng the electron paramagnetic resonance. To measure rate constant with emphassis on reactions of siloxans and silasans with atomic nitrogen and oxygen. To test a standard burner combined with superposed hf field as a new atomiser. To measured the isothermic degree in different points ofthis discharge. Properties of the films will be investigated, too.

Kategorie VaV

—

CEP - hlavní obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

CEP - vedlejší obor

BH - Optika, masery a lasery

CEP - další vedlejší obor

BN - Astronomie a nebeská mechanika, astrofyzika

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)<br>10308 - Astronomy (including astrophysics,space science)

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Projekt přispěl k porozumění interakce plazma-stěna a mechanizmu vzniku elektrických výbojů. Charakteristiska výsledků je adekvátně uvedena v Závěrečné kartě projektu. Projekt má význam pro aplikace (depozice tvrdých ochranných vrstev) a byl významně vyu

Zahájení řešení

1. 1. 1996

Ukončení řešení

1. 1. 1998

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP/1999/GA0/GA09GA/V/6:6

Datum dodání záznamu

—

Celkové uznané náklady

2 834 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

589 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč