Diagnostika nízkoteplotního plazmatu za středních tlaků a v magnetickém poli

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Standardní projekty

Veřejná soutěž

—

Hlavní účastníci

Univerzita Karlova / Matematicko-fyzikální fakulta

Druh soutěže

—

Číslo smlouvy

—

Název projektu anglicky

Diagnostics of medium pressure and magnetised low-temperature plasma

Anotace anglicky

Many technological applications often use the weak magnetic field to direct the plasma to the substrate. The literature covers only partially the interpretation of the Langmuir probe data measured in presence of the magnetic field. The neglecting of thismagnetic field can therefore decrease the precision of the plasma parameters measured by the Langmuir probe. The aim of the suggested project is to find the maximum value of the magnetic field B (in dependence on the pressure and size of the probe) in which the influence of this field is considered to be negligible. We want also to study the influence of the magnetic field to the anisotropy of the electron energy distribution function. Collisions between charged particles and neutral gas particles musbetaken into account in the space charge sheath around the probe at the pressures used in technological systems (the units of Pa). The theories published up to now are only approximative and contain many assumptions fulfilled with difficulties. The subm

Kategorie VaV

—

CEP - hlavní obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

CEP - vedlejší obor

—

CEP - další vedlejší obor

—

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)

Hodnocení poskytovatelem

V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Závěrečná karta projektu je úplná, údaje v ní uvedené odpovídají skutečnosti. Výsledky projektu byly publikovány v dostatečné míře jak v recenzovaných časopisech, tak na významných mezinárodních konferencích. Řešení projektu probíhalo v souladu s grantov

Zahájení řešení

1. 1. 1997

Ukončení řešení

1. 1. 1999

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP/2001/GA0/GA01GA/U/N/9:4

Datum dodání záznamu

—

Celkové uznané náklady

354 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

354 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč