Vývoj aparatury pro studium elektronové distribuční funkce při vytváření tenkých povlaků metodou plazmové polymerizace

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Standardní projekty

Veřejná soutěž

—

Hlavní účastníci

Jihočeská univerzita v Českých Budějovicích / Přírodovědecká fakulta

Druh soutěže

—

Číslo smlouvy

—

Název projektu anglicky

The design of the system for study of the electron energy distribution function during the creation of thin film by means of plasma polymeration

Anotace anglicky

The electron density and the electron energy distribution function (EEDF) are examples of the key parameters that govern the plasma process. Hence the knowlege of these parameters is substantial for understanding of its fundamental mechanisms, its modeling and subsequent up-scaling. Classical method for the determination of the EEDF is the Langmuir probe. Its advantge in comparison with other methods is its comparative simplicity and comparative good spatial resolution. However, application of thimethodduring plasma polymerization is accomplished with deposition of dielectric films on all elecrodes in contact with the plasma, so that the conventional probe method is not applicable. The goal of the proposed project is the development of the methobasedon the electrostatic probe that would enable the determination of the EEDF inthe process of plasma polymerization and the study of its dependence onthe external parameters of the polymerization process such as incident power, pressure and flow of t

Kategorie VaV

—

CEP - hlavní obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

CEP - vedlejší obor

JK - Koroze a povrchové úpravy materiálu

CEP - další vedlejší obor

—

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20506 - Coating and films

Hodnocení poskytovatelem

V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Byla vyvinuta elektronická aparatura s řídících softwarem, umožňující diagnostiku plazmatu metodou trojice sond a metodou jedné Langmuirovské sondy v procesu plazmového naprašování. Charakteristika odpovídá dosaženým výsledkům. Výsledky projektu naleznou

Zahájení řešení

1. 1. 1998

Ukončení řešení

1. 1. 2000

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP/2001/GA0/GA01GA/U/N/9:4

Datum dodání záznamu

—

Celkové uznané náklady

1 251 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

881 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč