Studium interakce chemicky aktivního plazmatu s povrchy pevných látek při středních a vyšších tlacích

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Standardní projekty

Veřejná soutěž

Standardní projekty 13 (SGA02010GA-ST)

Hlavní účastníci

—

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

P205-10-0979

Název projektu anglicky

Study of the interaction of chemically active plasmas with solid surfaces at medium and higher pressures

Anotace anglicky

In the project the complete process of the plasma-solid interaction in chemically active plasmas will be studied by the combination of three approaches - experimental, theoretical and computational. This process consists of following parts: physical andchemical processes in the bulk of plasma, sheath formation and the transport of charged particles through the sheath, physical processes on the surfaces of immersed substrates, transport of charged particles from the plasma through the growing dielectricfilms, morphological analysis of arising layers and plasma-modified surfaces. The study of the plasma-solid intraction will be performed both at low and higher pressures of plasma. The main task of the project will be the understanding of physical and chemical processes taking place during the plasma-solid interaction and the application of derived results in the analysis of probe diagnostics of plasma as wel as in plasma-assisted technologies.

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

CEP - vedlejší obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

CEP - další vedlejší obor

—

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)

Hodnocení poskytovatelem

V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Autoři vyvinuli počítačovou metodu pro analýzu chemických procesů v plazmatu, přičemž většina teoretických výsledků byla potvrzena experimenty. Výsledky přispěly k lepšímu pochopení fyzikálně-chemických procesů při interakci plazmatu s pevnou látkou. Do?

Zahájení řešení

1. 1. 2010

Ukončení řešení

31. 12. 2013

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

12. 6. 2013

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP14-GA0-GA-U/01:1

Datum dodání záznamu

1. 7. 2014

Celkové uznané náklady

1 879 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

1 879 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč