Nízkoteplotní plazmová depozice perovskitových tenkých vrstev na kovové a polymerní substráty

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Mezinárodní projekty

Veřejná soutěž

Mezinárodní projekty 3 (SGA02009GA1GC)

Hlavní účastníci

—

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

202/09/J017

Název projektu anglicky

Low Temperature Plasma Deposition of Perovskite Thin Films on Base Metal and Polymer Substrates

Anotace anglicky

The deposition of complex oxides on base metal and polymer substrates provides an important extension of thin film technology to more device-compatible substrate materials for application such as base metal foils and polymer sheets. The proposed projectdeals with the research and optimization of a plasma-jet technology for low temperature deposition of perovskite thin films on  metal foils and electroded polymer substrates. In situ plasma diagnostic in the deposition system based on emission spectroscopy, Langmuir time-resolved probe measurements and mass spectrometry will be realized for better understanding of elementary processes in the reactive plasma. In order to get more insight into the physical and chemical interaction between the deposited film and the substrate at low deposition temperatures, film microstructure and composition characterization will be performed by XRD, XPS, GD-OES, SIMS, SEM, and TEM. Optical, dielectric and photoelectric properties will be evaluated by ellipsomery, spectrophotometry and dielectric measurement system, ferroelectric properties by P-E and C-V hysteresis measurements, domain structure and piezoelectric properties by AFM. Depth profiling of physical properties will be performed by nanoindentation (elastic properties), VASE (optical properties) and LIMM (spontaneous polarization). Device concepts will be developed and device demonstrators will be assembled.

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

CEP - vedlejší obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

CEP - další vedlejší obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20201 - Electrical and electronic engineering

Hodnocení poskytovatelem

V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Řešení projektu proběhlo podle plánu jak z hlediska odborného tak i z hlediska čerpání finančních prostředků.

Zahájení řešení

1. 1. 2009

Ukončení řešení

31. 12. 2011

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

16. 4. 2011

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP12-GA0-GC-U/01:1

Datum dodání záznamu

9. 2. 2015

Celkové uznané náklady

2 734 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

2 734 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč