Mechanické vlastnosti vrstev Si-B-C-N vytvářených reaktivním magnetronovým naprašováním

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Postdoktorandské granty

Veřejná soutěž

Postdoktorandské granty 2 (SGA02002GA-PD)

Hlavní účastníci

Západočeská univerzita v Plzni / Fakulta aplikovaných věd

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

—

Název projektu anglicky

Mechanical properties of Si-B-C-N films formed by reactive magnetron sputtering

Anotace anglicky

Materials of the Si-B-C-N system are of special interest due to ability of these four elements to form short, covalent bonds. The Si-B-C-N films are expected to posses superhardness (i.e. hardness higher than 40 GPa) and also high-temperature oxidationresistance, a low wear rate, a low coefficient of friction, a wide optical transparency window and very good adherence. These properties are extremely interesting from industrial applications point of view (protective coatings, high-temperaturesemiconductors, etc.). The main objective of the proposed project is to contribute to understanding the complex processes of formation of hard Si-B-C-N films by d.c. magnetron sputtering using composed C-Si-B and B4C-Si targets in nitrogen-argon gasmixtures, particularly with respect to complicated correlations between process parameters and elemental composition, structure and mechanical properties (hardness, elasticity, friction coefficient and wear rate) of the formed films. Clarification of

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

JI - Kompositní materiály

CEP - vedlejší obor

JK - Koroze a povrchové úpravy materiálu

CEP - další vedlejší obor

JJ - Ostatní materiály

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

20502 - Paper and wood<br>20503 - Textiles; including synthetic dyes, colours, fibres (nanoscale materials to be 2.10; biomaterials to be 2.9)<br>20505 - Composites (including laminates, reinforced plastics, cermets, combined natural and synthetic fibre fabrics; filled composites)<br>20506 - Coating and films<br>21001 - Nano-materials (production and properties)<br>21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Hlavním cílem řešeného projektu bylo přispět k objasnění složitých procesů vytváření tvrdých vrstev Si-B-C-N stejnosměrným magnetronovým rozprašováním složených terčů C-Si-B, resp. B4C-Si ve výbojové směsi N2+Ar zejména s ohledem na komplikované vztahy m

Zahájení řešení

1. 1. 2002

Ukončení řešení

1. 1. 2005

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP06-GA0-GP-U/06:6

Datum dodání záznamu

19. 5. 2008

Celkové uznané náklady

428 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

428 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč