Tenkovrstvé nevypařované getry s nízkou aktivační teplotou pro použití v technologiích ultravysokého vakua

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Postdoktorandské granty

Veřejná soutěž

Postdoktorandské granty 2 (SGA02002GA-PD)

Hlavní účastníci

Univerzita Karlova / Matematicko-fyzikální fakulta

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

—

Název projektu anglicky

Low activation temperature nonevaporable getter coatings for ultrahigh vacuum applications

Anotace anglicky

Coating of the vacuum chamber surface with a thin film of low activation temperature nonevaporable getter (NEG) is one of the most advanced technologies in achieving UHV and XHV conditions, as such film would block the surface outgassing and provide anadditional pumping action. The objective of this project in investigation of low activation temperature NEG films properties. Experiments performed under UHV conditions will be aimed at investigation of vacuum and adsorption characteristics (pumpingspeed,sticking coefficient), structure and surface analysis of NEG films at various stages of activation-pumping-air venting cycle. The project is purposed to elucidate links between deposition conditions, composition, structure and properties of NEGfilm as well as to understand processes on surface during NEG thermal activation and interaction of activated NEG with residual gases. The project results should fuel a development of advanced vacuum technologies and new NEGs for science and industry

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

JJ - Ostatní materiály

CEP - vedlejší obor

JK - Koroze a povrchové úpravy materiálu

CEP - další vedlejší obor

—

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

20502 - Paper and wood<br>20503 - Textiles; including synthetic dyes, colours, fibres (nanoscale materials to be 2.10; biomaterials to be 2.9)<br>20506 - Coating and films<br>21001 - Nano-materials (production and properties)<br>21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)

Hodnocení poskytovatelem

V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Pokrývání vnitřního povrchu vakuových systémů tenkou vrstvou nevypařovaného getru (NEG) s nízkou aktivační teplotou, která účinně blokuje povrchové odplyňování a zároveň aktivně čerpá plyny, je jednou z progresivních technologií pro získávání velmi nízký

Zahájení řešení

1. 1. 2002

Ukončení řešení

1. 1. 2005

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP06-GA0-GP-U/06:6

Datum dodání záznamu

19. 5. 2008

Celkové uznané náklady

1 600 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

598 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

1 002 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč