Difuzní rozptyl rtg záření na dislokacích v epitaxních vrstvách
Cíle projektu
V rámci navrhovaného projektu budou zkoumány dislokace v tenkých vrstvách. Jedná se o experimentální studium pomocí difuzního rtg rozptylu a vypracování teoretického popisu difuzního rozptylu na dislokacích v nízkodimenzionálních strukturách s cílem nalezení metody stanovení hustoty dislokací a korelace poloh dislokací různých typů. Měření bude prováděno na relaxovaných epitaxních polovodičových vrstvách Ge na Si a SiGe na Si s konstantní a proměnnou koncentrací Ge. Získané informace o rozložení dislokací bude srovnáno s transmisní elektronovou mikroskopií příčných řezů.
Klíčová slova
Veřejná podpora
Poskytovatel
Grantová agentura České republiky
Program
Postdoktorandské granty
Veřejná soutěž
Standardní projekty 7 (SGA02004GA1PD)
Hlavní účastníci
—
Druh soutěže
VS - Veřejná soutěž
Číslo smlouvy
—
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
Diffuse x-ray scattering from dislocations in epitaxial layers
Anotace anglicky
The proposed project will be devoted to experimental studies of dislocations in epitaxial thin films. We will focus mainly on diffuse x-ray scattering. Theoretical description of diffuse x-ray scattering from dislocations will be generalized for low-dimensional structures in order to obtain a method for determining the dislocation density and correlation of the dislocation positions. Measurements are carried out on epitaxial layers Ge on Si substrates and on constant and graded layers SiGe on Si. Information on the dislocation cofiguration obtained from the diffuse scattering measurement is compared with cross-sectional transmission electron microscopy.
Vědní obory
Kategorie VaV
ZV - Základní výzkum
CEP - hlavní obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
CEP - vedlejší obor
—
CEP - další vedlejší obor
—
OECD FORD - odpovídající obory
(dle převodníku)10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Cílem projektu bylo nalézt vhodný teoretický popis difuzně rozptýleného rtg. záření od dislokací v heteroepitaxních tenkých vrstvách. Řešitel vycházel zejména z práce Krivoglazovy. Řešitel vycházel z obecného vztahu pro intenzitu difuzně rozptýleného rtg
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 1. 2004
Ukončení řešení
1. 1. 2006
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
—
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP07-GA0-GP-U/03:2
Datum dodání záznamu
16. 10. 2007
Finance
Celkové uznané náklady
553 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
553 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
0 tis. Kč
Základní informace
Uznané náklady
553 tis. Kč
Statní podpora
553 tis. Kč
100%
Poskytovatel
Grantová agentura České republiky
CEP
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
Doba řešení
01. 01. 2004 - 01. 01. 2006