Výzkum parametrů nízkoteplotního plazmatu v systémech planárního magnetronu, systémů s dutými katodami a mikrovlnného surfatronu

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Postdoktorandské granty

Veřejná soutěž

Postdoktorandské granty 9 (SGA02009GA1PD)

Hlavní účastníci

—

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

202/09/P159

Název projektu anglicky

An investigation of low-temperature plasma in systems of a planar magnetron, in systems with hollow cathodes and a microwave surfatron

Anotace anglicky

The essence of suggested project is a purposeful investigation of plasma parameters in the low-pressure technological plasma reactors utilized for deposition of thin films. In the present time, there are several wholly different plasma sources - a planarmagnetron, a plasma jet with hollow cathode, a microwave surfatron - dedicated for preparation of specific thin films and coatings, which are successfully used in the division of Optics of the Institute of Physics of the AS CR for deposition of thin films of perovskite oxides (STO, BTO, BSTO, PZT), TiOx, piezoelectric ZnO etc. on substrates made of various materials, e.g. polymers. A previous research showed that properties of thin films could be radically different if prepared by means of above mentioned plasma deposition systems. Therefore, it is desirable to investigate in detail attributes of these discharges and to carry out a basic comparative study of the plasma parameters, total energy flux density on a substrate and the properties of deposited thin films among these plasma sources. Then acquired knowledge should enable us partly to understand plasma properties of different plasma sources and to optimize the deposition process in the better way for concrete thin films by choosing of  appropriate plasma source or their mutual combination.

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

CEP - vedlejší obor

—

CEP - další vedlejší obor

—

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)

Hodnocení poskytovatelem

V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Řešení projektu proběhlo na vynikající úrovni, a to jak z hlediska odborného tak i z hlediska čerpání finančních prostředků.

Zahájení řešení

1. 1. 2009

Ukončení řešení

31. 12. 2011

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

16. 4. 2011

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP12-GA0-GP-U/03:3

Datum dodání záznamu

2. 5. 2016

Celkové uznané náklady

719 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

719 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč