Interferometrické měřicí techniky pro nanopolohování

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Postdoktorandské granty

Veřejná soutěž

Postdoktorandské granty 11 (SGA02011GA1PD)

Hlavní účastníci

—

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

P102-11-P820

Název projektu anglicky

Interferometric measurement techniques for nanopositioning

Anotace anglicky

The main goal of the project is a fundamental research in the field of interferometric nanoscale measuring systems. It is linked to the currently running grant project of the Academy of Sciences of the Czech Republic no. KAN311610701 under investigationat the Institute of Scientific Instruments ASCR, v.v.i. The effort will be concentrated on the analysis of limits of resolution and uncertainty in the dimensional nanometrology. The main accent will be put on investigation of spectral and noise properties of suitable laser sources, frequency stabilization techniques of these lasers, angular errors influences evaluation and compensation especially in multidimensional coordinate systems and the influence of parameters of the environment. This will represent a background for the introduction of new methods for optimalization and improving of the key parameters of nanoscale interferometric systems together with their direct traceability to the fundamental etalon of length. Results of this project will be an important contribution to the fundamental metrology and national nanometrology.

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

BH - Optika, masery a lasery

CEP - vedlejší obor

—

CEP - další vedlejší obor

—

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)

Hodnocení poskytovatelem

V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Byly sestaveny laserové zdroje s generací druhé harmonické frekvence stabilizované absorpcí na parách jódu v oblasti vlnových délek 515 a 532 nm. Kromě polohovacích systémů najdou tyto kompaktní etalony vlnové délky využití v kosmických aplikacích a v o?

Zahájení řešení

1. 1. 2011

Ukončení řešení

31. 12. 2013

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

6. 6. 2013

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP15-GA0-GP-U/02:2

Datum dodání záznamu

6. 5. 2016

Celkové uznané náklady

2 308 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

2 308 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč