Interferometrické měřicí techniky pro nanopolohování
Cíle projektu
Cílem projektu je prohloubit základní výzkum v oblasti interferometrických odměřovacích systémů vzdáleností s rozlišením v nanometrové oblasti, který na Ústavu přístrojové techniky, v.v.i. probíhá s podporou projektu Grantové agentury Akademie věd č. KAN311610701. Projekt bude zaměřen na nalezení limitů rozlišení a nejistoty měření u těchto odměřovacích systémů. Hlavní pozornost bude věnována výzkumu spektrálních vlastností vhodných zdrojů laserového záření, frekvenční stabilizaci těchto laserů, vlivu úhlových chyb se zaměřením na multidimenzionální systémy a vlivu parametrů okolního prostředí. Tento výzkum povede k novým metodám vylepšujícím a optimalizujícím klíčové parametry nano-interferometrických multidimenzionálních systémů s přímou návazností na základní etalon délky. Výsledky projektu tak budou zásadním vědeckým přínosem k základní metrologii délky i národní nanometrologii.
Klíčová slova
Veřejná podpora
Poskytovatel
Grantová agentura České republiky
Program
Postdoktorandské granty
Veřejná soutěž
Postdoktorandské granty 11 (SGA02011GA1PD)
Hlavní účastníci
—
Druh soutěže
VS - Veřejná soutěž
Číslo smlouvy
P102-11-P820
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
Interferometric measurement techniques for nanopositioning
Anotace anglicky
The main goal of the project is a fundamental research in the field of interferometric nanoscale measuring systems. It is linked to the currently running grant project of the Academy of Sciences of the Czech Republic no. KAN311610701 under investigationat the Institute of Scientific Instruments ASCR, v.v.i. The effort will be concentrated on the analysis of limits of resolution and uncertainty in the dimensional nanometrology. The main accent will be put on investigation of spectral and noise properties of suitable laser sources, frequency stabilization techniques of these lasers, angular errors influences evaluation and compensation especially in multidimensional coordinate systems and the influence of parameters of the environment. This will represent a background for the introduction of new methods for optimalization and improving of the key parameters of nanoscale interferometric systems together with their direct traceability to the fundamental etalon of length. Results of this project will be an important contribution to the fundamental metrology and national nanometrology.
Vědní obory
Kategorie VaV
ZV - Základní výzkum
CEP - hlavní obor
BH - Optika, masery a lasery
CEP - vedlejší obor
—
CEP - další vedlejší obor
—
OECD FORD - odpovídající obory
(dle převodníku)10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Byly sestaveny laserové zdroje s generací druhé harmonické frekvence stabilizované absorpcí na parách jódu v oblasti vlnových délek 515 a 532 nm. Kromě polohovacích systémů najdou tyto kompaktní etalony vlnové délky využití v kosmických aplikacích a v o?
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 1. 2011
Ukončení řešení
31. 12. 2013
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
6. 6. 2013
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP15-GA0-GP-U/02:2
Datum dodání záznamu
6. 5. 2016
Finance
Celkové uznané náklady
2 308 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
2 308 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
0 tis. Kč
Základní informace
Uznané náklady
2 308 tis. Kč
Statní podpora
2 308 tis. Kč
100%
Poskytovatel
Grantová agentura České republiky
CEP
BH - Optika, masery a lasery
Doba řešení
01. 01. 2011 - 31. 12. 2013