Laserové plasma jako zdroj iontů pro přímou implantaci

Poskytovatel

Akademie věd České republiky

Program

Granty výrazně badatelského charakteru zaměřené na oblast výzkumu rozvíjeného v současné době zejména v AV ČR

Veřejná soutěž

—

Hlavní účastníci

Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.

Druh soutěže

—

Číslo smlouvy

—

Název projektu anglicky

Laser plasma as a source of ions for direct implantation

Anotace anglicky

Laser produced plasmas as sources of ions with different kinetic energies will be studied with respect to the direct ion implantation into metals or into others solids, in order to modify their mechanical properties. The goal of the project is to comparethe properties of plasmas, produced by intense laser radiation at different wave length (NIR-Vis-UV) and of different pulse length (300 ps - 20 ns) and to investigate, whether the laser driven ion source could be used for this purposes and would providelower cost and higher efficiency tool for implantation especially of metal ions into solids, in comparison with classical ion sources.

Kategorie VaV

—

CEP - hlavní obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

CEP - vedlejší obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

CEP - další vedlejší obor

—

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)

Hodnocení poskytovatelem

V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Laserové plazma je nejefektivnějším zdrojem iontů. V závislosti na deponovaném laserovém výkonu do fokusační stopy lze ovlivňovat nábojové číslo, energii i počet emitovaných iontů. Hloubka přímé implantace jsou stovky nm až mikrom pro různé materiály.

Zahájení řešení

1. 1. 1998

Ukončení řešení

1. 1. 2000

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP/2001/AV0/AV01IA/U/N/4:2

Datum dodání záznamu

—

Celkové uznané náklady

5 055 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

1 107 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč