Povrchová migrace a rekonstrukce v kinetice růstu vrstev A3B5 a návrh modelu pro výpočet koncentrace bodových poruch v technologii MO VPE

Poskytovatel

Akademie věd České republiky

Program

Granty výrazně badatelského charakteru zaměřené na oblast výzkumu rozvíjeného v současné době zejména v AV ČR

Veřejná soutěž

—

Hlavní účastníci

Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.<br>Ústav fotoniky a elektroniky AV ČR, v. v. i.

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

—

Název projektu anglicky

Surface migration and reconstruction in the konetics of A3B5 layer growth and a new model for the calculation of the point defects concentration

Anotace anglicky

The Burton-Cabrera-Frank (BCF) theory occupies a central position in the field of vapour phase growth and is also significant for growth from the melt. The basic theory of BCF has been developed to describe the growth mechanisms when single atoms or molecules are adsorbed from its vapour, than migrate to the surface steps and along steps to the kinks. In the case of deposition A3B5 compounds by MO VPE or MBE and their modifications the situation is more complex. A rough estimate of Xs gives different values for different substances composing the layer and composition of the adsorbed molecules, which is different for different growth conditions. The aim of the project is the BCF theory modification by quantitative description of the more complex surfacemigration and reconstruction processes. Determination of the activation berriere high in the Van Vechten theory of surface reconstruction rate will be investigated as an accuracy limiting value.

Kategorie VaV

—

CEP - hlavní obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

CEP - vedlejší obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

CEP - další vedlejší obor

JJ - Ostatní materiály

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>20201 - Electrical and electronic engineering<br>20502 - Paper and wood<br>20503 - Textiles; including synthetic dyes, colours, fibres (nanoscale materials to be 2.10; biomaterials to be 2.9)<br>21001 - Nano-materials (production and properties)<br>21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Teorie BCF není vhodná pro popis ultratenkovrstvého růstu A3B5. Byla stanovena rychlost povrchové rekonstrukce a vliv na tvorbu vakancí. V MOVPE je potlačená vlivem adsorbátů. Je studována pasivace povrchů InAs a GaSb a jejich strukturní leptání.

Zahájení řešení

1. 1. 1999

Ukončení řešení

1. 1. 2001

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP/2002/AV0/AV02IA/U/N/7:3

Datum dodání záznamu

15. 1. 2007

Celkové uznané náklady

2 126 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

975 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

1 762 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč