Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie
Veřejná podpora
Poskytovatel
Akademie věd České republiky
Program
Nanotechnologie pro společnost
Veřejná soutěž
Nanotechnologie pro společnost 2 (SAV02007-N)
Hlavní účastníci
—
Druh soutěže
VS - Veřejná soutěž
Číslo smlouvy
KAN311610701
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
Nanometrology using methods of scanning probe microscopy
Anotace anglicky
Project is focused on developement of scanning probe microscopy methods focused on the following fields: 1) developement of very precise interferometric measurement methods in nanoscale, 2) traceability of the nanostructures dimensions and forms measurements, 3) quantitative measurements of mechanical properties of thin films in combination of microindentation, nanoindentation and scanning probe microscopy, 4) theoretical analysis of the probe-sample interaction effects in scanning probe microscopy andnanoindentation measurements. As a result, unique laboratory specialized on quantitative measurements using scanning probe microscopy techniques will be created.
Vědní obory
Kategorie VaV
ZV - Základní výzkum
CEP - hlavní obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
CEP - vedlejší obor
—
CEP - další vedlejší obor
—
OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Byla vyvinuta sada nástrojů pro zajištění návaznosti při měření malých rozměrů, sil a lokálních mechanických vlastností: metrologický SPM s šestiosým interferometrickým odměřovacím systémem, sada referenčních vzorků pro nanoindentaci a sada metodik.
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 1. 2007
Ukončení řešení
31. 12. 2011
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
18. 3. 2011
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP12-AV0-KA-U/01:1
Datum dodání záznamu
21. 3. 2012
Finance
Celkové uznané náklady
21 074 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
18 713 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
2 361 tis. Kč