Magnetronové napracování tenkých vrstev

Poskytovatel

Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy

Program

KONTAKT

Veřejná soutěž

—

Hlavní účastníci

Západočeská univerzita v Plzni / Fakulta aplikovaných věd

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

—

Název projektu anglicky

Magnetron sputtering of thin films

Anotace anglicky

The development of a new generation of materials based on sputtered nanocomposite coatings. The project concentrates on the solution of the following problems: (1) The physical investigation of the formation of nanocrystalline and nanocomposite films, particularly the mechanisms for stopping of the growth of grains, process of selective reactive magnetron sputtering, segregation of atoms to boundaries of grains at low temperatures close to room temperature, thermal stability of films and dependences otheir properties on the grain size, (2) The development of a new generation of hard nanocomposite films composed of hard nanocrystalline grains embedded in a soft matrix and a hard matrix, e.g. CrN/Ni, ZrN/Cu, TiN/Cu,Ni,Co, TiN/Si3N4. and (3) The development of new sputtering systems for production of nanocrystalline and nanocomposite films. This project contributes not only to new knowledge in the physics but also enables to develop new materials with small grains of about 10 nm and smaller.

Kategorie VaV

—

CEP - hlavní obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

CEP - vedlejší obor

JJ - Ostatní materiály

CEP - další vedlejší obor

—

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20502 - Paper and wood<br>20503 - Textiles; including synthetic dyes, colours, fibres (nanoscale materials to be 2.10; biomaterials to be 2.9)<br>21001 - Nano-materials (production and properties)<br>21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)

Hodnocení poskytovatelem

V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Projekt přispěl k rozvoji poznání v oblasti vytváření tvrdých nanostrukturních povlaků.

Zahájení řešení

1. 1. 1998

Ukončení řešení

1. 1. 2002

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP/2003/MSM/MSM3ME/U/N/8:4

Datum dodání záznamu

22. 5. 2009

Celkové uznané náklady

10 600 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

2 100 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

7 400 tis. Kč